Các yếu tố ảnh hưởng đến độ phân giải của kính hiển vi điện tử truyền qua là gì?
A. Đường kính điểm chùm tia điện tử tới: giới hạn khả năng phân giải của SEM. Nói chung, đường kính điểm tối thiểu của súng điện tử cathode nóng có thể giảm xuống 6nm và súng điện tử phát xạ trường có thể làm cho đường kính điểm nhỏ hơn 3nm.
B. Hiệu ứng giãn nở của chùm electron tới trong mẫu: mức độ khuếch tán phụ thuộc vào năng lượng của chùm electron tới và số nguyên tử của mẫu. Năng lượng của chùm tia tới càng cao và số nguyên tử của mẫu càng thấp thì thể tích chùm electron càng lớn, diện tích tín hiệu được tạo ra do sự khuếch tán của chùm electron càng lớn, do đó làm giảm độ phân giải.
C. phương pháp hình ảnh và tín hiệu điều chế được sử dụng: khi tín hiệu điều chế electron thứ cấp, do năng lượng thấp (dưới 50 eV), phạm vi tự do trung bình ngắn (10 ~ 100nm hoặc hơn), chỉ ở lớp bề mặt của phạm vi độ sâu 50 ~ 100nm của các electron thứ cấp có thể thoát ra khỏi bề mặt mẫu, số lượng tán xạ xảy ra rất hạn chế, về cơ bản không mở rộng về phía bên, do đó độ phân giải của ảnh electron thứ cấp xấp xỉ bằng chùm tia đường kính điểm. Khi các electron tán xạ ngược được sử dụng làm tín hiệu điều chế, các electron tán xạ ngược có thể thoát ra khỏi vùng sâu hơn của mẫu (khoảng 30% độ sâu hiệu dụng) do năng lượng cao và khả năng xuyên thấu của chúng. Trong phạm vi độ sâu này, các electron tới đã giãn nở theo chiều ngang khá rộng, do đó độ phân giải của ảnh electron tán xạ ngược thấp hơn ảnh electron thứ cấp, thường ở bước sóng 500 ~ 2{9}}nm hoặc hơn. Nếu sự hấp thụ điện tử, tia X, phát quang âm, độ dẫn hoặc điện thế cảm nhận chùm tia làm tín hiệu điều chế của các chế độ hoạt động khác, do tín hiệu từ toàn bộ vùng tán xạ chùm tia điện tử, thì hình ảnh quét thu được có độ phân giải tương đối thấp, thường ở l,{10}} nm hoặc l,000 nm hoặc nhiều hơn mức khác nhau.
