Các phương pháp hiệu chuẩn cho máy đo độ dày lớp phủ là gì?
Các phương pháp hiệu chuẩn cho máy đo độ dày lớp phủ là gì? Có ba phương pháp hiệu chuẩn chính cho máy đo độ dày lớp phủ, đó là hiệu chuẩn hệ thống, hiệu chuẩn hai điểm và hiệu chuẩn dựa trên sắt. Trong các trường hợp bình thường, chỉ cần hiệu chuẩn dựa trên sắt để đo chính xác. Khi từ tính và độ nhám bề mặt của đế sắt của thiết bị và đế sắt của đối tượng được đo khác nhau rất nhiều, hiệu chuẩn hệ thống có thể được thực hiện để đảm bảo độ chính xác của phép đo. Tiếp theo, chúng tôi sẽ giới thiệu chi tiết phương pháp hiệu chuẩn máy đo độ dày lớp phủ.
(1) Hiệu chuẩn dựa trên sắt
Tính chất từ tính và độ nhám bề mặt của kim loại cơ bản tiêu chuẩn của thiết bị phải giống với tính chất của kim loại cơ bản của mẫu thử. Để đảm bảo độ chính xác của phép đo, có thể thực hiện hiệu chuẩn dựa trên sắt trước khi đo mẫu thử.
Phương pháp hiệu chuẩn: Sau khi bật thiết bị, trước tiên hãy đặt đầu dò lên bề mặt tiếp xúc của mẫu thử để đo, đo hai lần, nhấn phím "CAL" trong khi giữ đầu dò lần thứ hai sau lần đo thứ hai, sau đó Hiệu chuẩn dựa trên sắt có thể được thực hiện. Nếu không có hai tiếng bíp, có nghĩa là hoạt động sai. Lặp lại các bước trên cho đến khi nghe thấy hai tiếng bíp.
(2) Hiệu chuẩn hai điểm
Trong quá trình đo, nếu nhận thấy độ lệch của các giá trị đo riêng lẻ lớn thì có thể điều chỉnh bằng phương pháp hiệu chuẩn hai điểm.
Phương pháp hiệu chuẩn: đo mẫu thử có độ dày đã biết làm mẫu chuẩn, nếu giá trị hiển thị không phù hợp với giá trị thực, bạn có thể sử dụng phím "▲" và "▼" để cộng hoặc trừ 1. Nhấn và giữ " Phím ▲" và "▼" để thực hiện cộng và trừ liên tục cho đến khi giá trị hiển thị giống với giá trị thực. Phép đo bình thường có thể được thực hiện sau khi hiệu chuẩn hoàn tất.
Lưu ý: Độ dày của mẫu thử được chọn trong quá trình hiệu chuẩn hai điểm không được gần với giá trị của năm mẫu trong quá trình hiệu chuẩn hệ thống, nếu không hoạt động sẽ không hợp lệ.
Khi quá trình hiệu chuẩn của mẫu thứ năm hoàn tất, màn hình sẽ hiển thị "0000'' và vào giao diện khởi động như trong Hình A. Thiết bị hiện đã hoàn tất quá trình hiệu chuẩn hệ thống. Sau đó, DUT có thể được đo trực tiếp.
Lưu ý: Năm mẫu này có thể sử dụng các tờ tiêu chuẩn được cung cấp hoặc các mẫu có độ dày đã biết làm tờ tiêu chuẩn. Việc hiệu chuẩn các mẫu nên được thực hiện theo thứ tự từ nhỏ đến lớn và giữa các mẫu liền kề cần có sự chênh lệch nhất định.
