Ưu nhược điểm của kính hiển vi điện tử
lợi thế:
1. Độ phân giải cao, độ phân giải của kính hiển vi quang học là 0.2μm và độ phân giải của kính hiển vi điện tử truyền qua là 0.2nm, tức là kính hiển vi điện tử truyền qua được phóng đại 1000 lần trên cơ sở kính hiển vi quang học.
2. Kính hiển vi điện tử truyền qua thường được sử dụng để quan sát các cấu trúc vật chất mịn mà kính hiển vi thông thường không thể phân giải được; kính hiển vi điện tử quét chủ yếu được sử dụng để quan sát hình thái của bề mặt rắn, và cũng có thể được kết hợp với máy đo nhiễu xạ tia X hoặc máy quang phổ năng lượng điện tử. Cấu thành các vi đầu dò điện tử để phân tích thành phần vật chất; kính hiển vi điện tử phát xạ được sử dụng để nghiên cứu bề mặt điện tử tự phát xạ.
sự thiếu sót:
1. Trong kính hiển vi điện tử, mẫu phải được quan sát trong chân không nên không quan sát được mẫu sống. Với sự tiến bộ của công nghệ, kính hiển vi điện tử quét môi trường sẽ dần nhận ra việc quan sát trực tiếp các mẫu sống;
2. Khi xử lý mẫu, nó có thể tạo ra cấu trúc mà mẫu không có, điều này làm trầm trọng thêm khó khăn cho việc phân tích hình ảnh sau đó;
3. Do khả năng tán xạ điện tử mạnh nên dễ xảy ra hiện tượng nhiễu xạ thứ cấp;
4. Vì là hình chiếu bằng phẳng hai chiều của vật thể ba chiều nên đôi khi hình không phải là duy nhất;
5. Do kính hiển vi điện tử truyền qua chỉ quan sát được các mẫu rất mỏng nên có thể cấu trúc bề mặt của vật liệu khác với cấu trúc bên trong vật liệu;
6. Đối với các mẫu siêu mỏng (dưới 100 nanomet), quá trình chuẩn bị mẫu rất phức tạp và khó khăn, việc chuẩn bị mẫu bị hỏng;
7. Chùm điện tử có thể phá hủy mẫu do va chạm và nung nóng;
8. Ngoài ra, giá mua và bảo trì của kính hiển vi điện tử tương đối cao.
