Ưu điểm và nhược điểm của kính hiển vi điện tử
Thuận lợi:
1. Độ phân giải cao, độ phân giải của kính hiển vi quang học là 0.2 μ m, và độ phân giải của kính hiển vi điện tử truyền qua là 0.2 nm, nghĩa là kính hiển vi điện tử truyền qua phóng đại 1000 lần trên cơ sở kính hiển vi quang học.
2. Kính hiển vi điện tử truyền qua được sử dụng phổ biến để quan sát các cấu trúc vật chất mịn mà kính hiển vi thông thường không thể phân biệt được; Kính hiển vi điện tử quét chủ yếu được sử dụng để quan sát hình thái của bề mặt rắn và cũng có thể kết hợp với nhiễu xạ tia X hoặc quang phổ điện tử để tạo thành đầu dò vi điện tử để phân tích thành phần vật liệu; Kính hiển vi điện tử phát xạ được sử dụng để nghiên cứu bề mặt điện tử tự phát xạ.
Nhược điểm:
1. Trong kính hiển vi điện tử, mẫu phải được quan sát trong chân không nên không thể quan sát được mẫu sống. Với sự tiến bộ của công nghệ, kính hiển vi điện tử quét môi trường sẽ dần dần đạt được khả năng quan sát trực tiếp các mẫu sống;
2. Khi xử lý mẫu, có thể có những cấu trúc mà mẫu ban đầu không có, làm tăng khó khăn cho việc phân tích hình ảnh sau đó;
3. Do khả năng tán xạ electron mạnh nên nó dễ bị nhiễu xạ thứ cấp, v.v.;
4. Do là ảnh chiếu phẳng hai chiều của vật thể ba chiều nên đôi khi ảnh không duy nhất;
5. Do kính hiển vi điện tử truyền qua chỉ quan sát được những mẫu rất mỏng nên có thể cấu trúc bề mặt của một chất khác với cấu trúc bên trong của chất đó;
6. Mẫu siêu mỏng (dưới 100 nanomet), quá trình chuẩn bị mẫu phức tạp và khó khăn, và có thể gây hư hỏng cho quá trình chuẩn bị mẫu;
7. Chùm tia điện tử có thể làm hỏng mẫu do va chạm và đốt nóng;
8. Ngoài ra, giá mua và bảo trì kính hiển vi điện tử tương đối cao.
