Công dụng và đặc điểm của kính hiển vi điện tử truyền qua Công dụng và đặc điểm của kính hiển vi điện tử truyền qua
Kính hiển vi điện tử truyền qua (TEM) là kính hiển vi có độ phân giải cao được sử dụng để quan sát cấu trúc bên trong của mẫu. Nó sử dụng chùm tia điện tử để xuyên qua mẫu và tạo thành hình ảnh chiếu, sau đó được giải thích và phân tích để tiết lộ cấu trúc vi mô của mẫu.
1. Nguồn điện tử
TEM sử dụng chùm tia điện tử chứ không phải chùm ánh sáng. Kính hiển vi điện tử truyền qua Dòng Talos được trang bị bởi Jifeng Electronics MA Lab sử dụng súng điện tử có độ sáng cực cao và kính hiển vi điện tử truyền qua quang sai hình cầu HF5000 sử dụng súng điện tử trường lạnh.
2. Hệ thống chân không
Để tránh chùm electron tương tác với khí trước khi truyền qua mẫu, toàn bộ kính hiển vi phải được duy trì trong điều kiện chân không cao.
3. Mẫu truyền
Mẫu phải trong suốt, nghĩa là chùm tia điện tử có thể xuyên qua nó, tương tác với nó và tạo thành hình ảnh được chiếu. Thông thường, độ dày của mẫu nằm trong phạm vi nanomet đến dưới micron. Quarterly được trang bị hàng chục FIB dòng Helios 5 để chuẩn bị các mẫu TEM siêu mỏng chất lượng cao.
4. Hệ thống truyền điện tử
Chùm tia điện tử được tập trung thông qua một hệ thống truyền dẫn. Những thấu kính này tương tự như những thấu kính được sử dụng trong kính hiển vi quang học, nhưng vì bước sóng điện tử ngắn hơn nhiều so với sóng ánh sáng nên việc thiết kế và chế tạo thấu kính đòi hỏi khắt khe hơn.
5. Mặt phẳng ảnh
Sau khi đi qua mẫu, chùm tia điện tử đi vào mặt phẳng ảnh. Trong mặt phẳng này, thông tin từ chùm electron được chuyển đổi thành hình ảnh và được máy dò ghi lại.
6. Máy dò
Các máy dò phổ biến nhất là màn hình phốt pho, máy ảnh CCD (Thiết bị ghép điện tích) hoặc máy ảnh CMOS (Chất bán dẫn oxit kim loại bổ sung). Khi chùm tia điện tử tương tác với màn hình phốt pho trong mặt phẳng hình ảnh, ánh sáng khả kiến sẽ được tạo ra, dẫn đến hình ảnh chiếu của mẫu, hình ảnh này thường được sử dụng để tìm mẫu. Do màn hình phốt pho cần được sử dụng trong môi trường phòng tối, không thân thiện với người dùng nên các nhà sản xuất hiện nay lắp đặt một camera ở bên cạnh màn hình phốt pho để người vận hành TEM có thể quan sát màn hình trong môi trường mở để tìm mẫu. , nghiêng trục băng và các hoạt động khác, cải tiến dễ thấy này là cơ sở để hiện thực hóa sự tách biệt giữa người và máy.
7. Hình thành hình ảnh
Khi chùm tia điện tử đi qua mẫu, nó tương tác với các cấu trúc nguyên tử và tinh thể bên trong mẫu, làm tán xạ và hấp thụ. Dựa trên những tương tác này, cường độ của chùm tia điện tử sẽ tạo thành ảnh trên mặt phẳng ảnh. Những hình ảnh này là hình ảnh chiếu hai chiều, nhưng cấu trúc bên trong của mẫu thường là ba chiều, vì vậy cần đặc biệt chú ý đến điều này khi giải quyết thông tin về các chi tiết bên trong của mẫu.
8. Phân tích và giải thích
Bằng cách quan sát và phân tích hình ảnh, các nhà nghiên cứu có thể hiểu được cấu trúc tinh thể, các thông số mạng, khuyết tật tinh thể, sự sắp xếp nguyên tử và các thông tin cấu trúc vi mô khác của mẫu. Jifeng có đội ngũ phân tích vật liệu chuyên nghiệp, có thể cung cấp cho khách hàng các giải pháp phân tích toàn bộ quy trình và báo cáo phân tích vật liệu chuyên nghiệp.
