Sự khác biệt giữa kính hiển vi laser đồng tiêu và kính hiển vi điện tử quét
Kính hiển vi đồng tiêu laser và kính hiển vi điện tử quét cả điểm quét và hình ảnh theo nguồn điểm, và độ phóng đại được điều chỉnh bằng cách kiểm soát phạm vi truyền động quét. Kính hiển vi đồng tiêu laser hoạt động bằng cách quét laser để thu được hình ảnh ba chiều. Kính hiển vi điện tử quét sử dụng nhiều tín hiệu vật lý khác nhau được kích thích bởi các chùm electron tập trung tinh vi khi quét bề mặt mẫu để điều chỉnh hình ảnh. Nó chỉ có thể thu được hình ảnh hai chiều chứ không thể thu được hình ảnh ba chiều.
1. Độ phân giải giới hạn khác nhau (các nguồn tín hiệu khuếch đại khác nhau)
Tiêu điểm laser: độ phân giải tối đa 150nm
Kính hiển vi điện tử quét: 20nm~0,8nm
2. Các phương pháp trình điều khiển quét khác nhau
Tiêu điểm laser: Gương xoay laser kiểm soát phạm vi quét và tốc độ quét laser
Kính hiển vi điện tử quét: Cuộn dây điện từ điều khiển phạm vi quét và tốc độ quét của chùm tia điện tử
3. Hình ảnh lập thể khác nhau
Tiêu điểm laser: Một động cơ bước có độ chính xác nanomet được sử dụng để đưa mẫu đến từng lớp hình ảnh theo hướng trục Z. Phần mềm kết hợp các hình ảnh đã thiết lập của từng lớp thành một hình ảnh ba chiều rõ ràng.
Kính hiển vi điện tử quét: Một khung hình đơn có độ sâu trường ảnh lớn và là hình ảnh hai chiều
4. Phạm vi ứng dụng khác nhau
Tiêu điểm laser: vài lần ~ hàng nghìn lần
Kính hiển vi điện tử quét: vài lần đến hàng trăm nghìn lần
5. Môi trường làm việc khác nhau
Laser đồng tiêu: có thể kiểm tra mẫu trong môi trường khí quyển
Kính hiển vi điện tử quét: Kiểm tra mẫu trong môi trường chân không cao
