Các ứng dụng của kính hiển vi đồng tiêu trong ngành bán dẫn
Trong quá trình sản xuất chất bán dẫn-quy mô lớn, cần phải đặt các chip mạch tích hợp lên tấm bán dẫn, sau đó chia chúng thành nhiều đơn vị khác nhau và cuối cùng là đóng gói và hàn chúng. Do đó, việc kiểm soát và đo lường chính xác kích thước rãnh cắt wafer là một khâu quan trọng trong quá trình sản xuất.
Kính hiển vi đồng tiêu dòng VT6000 là thiết bị kiểm tra bằng kính hiển vi do Zhongtu Instrument ra mắt, được sử dụng rộng rãi trong quy trình sản xuất và đóng gói chất bán dẫn. Nó có thể thực hiện quét không tiếp xúc-và tái tạo hình thái ba chiều-của các đặc điểm bề mặt có hình dạng phức tạp và các rãnh cắt laser dốc.
Kính hiển vi đồng tiêu dòng VT6000 có độ phân giải quang học tuyệt vời và có thể quan sát chi tiết các đặc điểm của bề mặt tấm bán dẫn thông qua hệ thống hình ảnh rõ ràng, chẳng hạn như quan sát xem có khuyết tật như vỡ cạnh và trầy xước trên bề mặt tấm bán dẫn hay không. Tháp điện có thể tự động chuyển đổi giữa các độ phóng đại vật kính khác nhau và phần mềm tự động ghi lại các cạnh đặc trưng để đo kích thước hai chiều-nhanh chóng, từ đó phát hiện và kiểm soát chất lượng bề mặt tấm bán dẫn hiệu quả hơn.
Trong quá trình cắt tấm wafer bằng laser, cần phải định vị chính xác để đảm bảo rằng các rãnh có thể được cắt dọc theo đường viền chính xác trên tấm wafer. Chất lượng phân đoạn wafer thường được đo bằng độ sâu và chiều rộng của các rãnh cắt. Kính hiển vi đồng tiêu dòng VT6000, dựa trên công nghệ đồng tiêu và được trang bị-mô-đun quét tốc độ cao, có phần mềm phân tích chuyên nghiệp với các chức năng đo tự động và đa vùng. Nó có thể nhanh chóng tái tạo lại đường viền ba chiều của rãnh laser của tấm bán dẫn đã thử nghiệm và thực hiện phân tích đa cấu hình để thu được thông tin về độ sâu và chiều rộng của kênh của mặt cắt ngang.
