Một số nguyên nhân chính dẫn đến sai số đo trên máy đo độ dày lớp phủ
Máy đo độ dày lớp phủ sử dụng công nghệ cảm ứng từ mới, đó là hiệu ứng Hall. Bằng cách nghiên cứu mối quan hệ giữa điện áp Hall và dòng điện làm việc, nó đo từ trường nam châm điện và độ thấm từ, đồng thời nghiên cứu mối quan hệ giữa điện áp Hall và từ trường. Từ trường này trở nên đều đặn. Khi nguyên tắc này được áp dụng cho máy đo độ dày lớp phủ, không cần phải điều chỉnh mẫu thử. Đặc biệt khi đo các sản phẩm có hình cung hoặc lõm sẽ sử dụng dễ dàng và thuận tiện hơn.
Máy đo độ dày lớp phủ sử dụng cảm ứng điện từ để đo độ dày của lớp phủ. Đầu dò nằm trên bề mặt của bộ phận tạo ra một vòng từ khép kín. Khi khoảng cách giữa đầu dò và vật liệu sắt từ thay đổi, vòng từ sẽ thay đổi ở các mức độ khác nhau, gây ra sự thay đổi điện trở từ và độ tự cảm của cuộn dây đầu dò. Nguyên lý này có thể được sử dụng để đo chính xác khoảng cách giữa đầu dò và vật liệu sắt từ, tức là độ dày lớp phủ.
Máy đo độ dày lớp phủ không cần phải sạc và xả thường xuyên trong thời gian dài để tránh tình trạng ắc quy bị khóa. Đối với một số phôi nhỏ hoặc phôi có lớp phủ đặc biệt mỏng, nên sử dụng phép đo liên tục.
Một số nguyên nhân chính dẫn đến sai số đo của máy đo độ dày lớp phủ:
1. Vật liệu cần đo bằng máy đo độ dày có cấu trúc và hình dạng khác nhau. Trên các phôi có cấu trúc khác nhau, sự phân bố từ trường sẽ thay đổi theo cấu trúc và hình dạng, dẫn đến sai số đo.
2. Bản thân vật liệu đang được thử nghiệm có chứa từ tính. Trong quá trình xử lý một số vật liệu hoặc các yêu cầu quy trình nhất định, có một từ trường dư trong vật liệu đang được thử nghiệm. Do sự phân bố không đồng đều nên sai số đo cũng không nhất quán và giá trị đo của một số bộ phận nhất định của cùng một phôi đột nhiên lớn hơn hoặc nhỏ hơn.
3. Các bộ phận khác nhau của cùng một vật liệu cũng có thể tạo ra những thay đổi trong từ trường. Ví dụ, sự phân bố từ trường ở khu vực rìa và giữa của vật liệu khác nhau, có thể gây ra sai số đo.
4. Tùy thuộc vào tính chất của vật liệu được đo mà từ thông sẽ khác nhau, đây cũng là một trong những nguyên nhân gây ra sai số.
5. Kích thước và độ dày khác nhau của vật liệu cũng có thể dẫn đến sai số đo.
6. Bề mặt của vật liệu được kiểm tra không đủ mịn cũng là nguyên nhân gây ra lỗi.
