Phương pháp đo độ dày lớp phủ Đo bù nhiệt độ
Phương pháp đo bù nhiệt độ của máy đo độ dày lớp phủ bao gồm bước hiệu chỉnh hệ số nhiệt độ, bước hiệu chỉnh điểm 0 khi khởi động và bước công việc đo độ dày, cuối cùng tính giá trị độ dày lớp phủ thực tế dx; sử dụng mối tương quan giữa sự thay đổi trường điện từ của cuộn cảm và nhiệt độ, nghĩa là trong Giá trị ở đầu vô cực được đo một lần trong quá trình đo và hệ số thay đổi nhiệt độ ở đầu vô cực tỷ lệ thuận với hệ số thay đổi nhiệt độ khi đầu dò đo gần với chất nền của đối tượng đo để đo. Sử dụng tính năng này để thực hiện bù nhiệt độ có thể giảm lỗi đo nhiệt độ nhiều nhất có thể. Lỗi đo lường của phương pháp này về cơ bản có thể được kiểm soát trong phạm vi 1 phần trăm, trong khi tiêu chuẩn quốc gia hiện tại của chúng tôi yêu cầu trong phạm vi 3 phần trăm. Để so sánh, lỗi đo lường của phương pháp này có thể được kiểm soát trong vòng 1 phần trăm. Độ chính xác của phép đo đã đạt đến độ chính xác của phép đo của các máy thương hiệu quốc tế và nó vẫn ở mức rất cao ở Trung Quốc.
