Các tính năng của kính hiển vi thăm dò quét
Kính hiển vi đầu dò quét là kính hiển vi thứ ba để quan sát cấu trúc của vật chất ở quy mô nguyên tử sau kính hiển vi ion trường và kính hiển vi điện tử truyền qua có độ phân giải cao. Lấy Kính hiển vi quét đường hầm (STM) làm ví dụ, độ phân giải ngang của nó là 0.1~0.2nm và độ phân giải độ sâu dọc của nó là 0.01nm. Độ phân giải như vậy có thể quan sát rõ ràng các nguyên tử hoặc phân tử đơn lẻ phân bố trên bề mặt mẫu. Đồng thời, kính hiển vi quét đầu dò cũng có thể tiến hành nghiên cứu quan sát trong môi trường không khí, các loại khí hoặc chất lỏng khác.
Kính hiển vi đầu dò quét có các đặc tính của độ phân giải nguyên tử, vận chuyển nguyên tử và vi xử lý nano. Tuy nhiên, do các nguyên tắc làm việc khác nhau của các kính hiển vi quét khác nhau một cách chi tiết, thông tin trên bề mặt của mẫu được phản ánh bởi kết quả mà chúng thu được là rất khác nhau. Kính hiển vi quét đường hầm đo thông tin phân bố của các trạm điện tử trên bề mặt mẫu, có độ phân giải cấp nguyên tử nhưng vẫn không thể thu được cấu trúc thực của mẫu. Kính hiển vi nguyên tử phát hiện thông tin tương tác giữa các nguyên tử, do đó có thể thu được thông tin sắp xếp của phân bố nguyên tử trên bề mặt mẫu, tức là cấu trúc thực của mẫu. Nhưng mặt khác, kính hiển vi lực nguyên tử không thể đo thông tin trạng thái điện tử có thể so sánh với lý thuyết, vì vậy cả hai đều có những ưu điểm và nhược điểm riêng.
