Sự khác biệt giữa Kính hiển vi đồng tiêu laser và Kính hiển vi điện tử quét
Kính hiển vi đồng tiêu laser và kính hiển vi điện tử quét đều sử dụng nguồn điểm để quét hình ảnh từng điểm và điều chỉnh độ phóng đại bằng cách kiểm soát phạm vi truyền động quét. Kính hiển vi đồng tiêu laze hoạt động thông qua quá trình quét laze và có thể thu được hình ảnh ba{1} chiều. Kính hiển vi điện tử quét điều chỉnh hình ảnh bằng cách sử dụng các tín hiệu vật lý khác nhau được kích thích bởi chùm tia điện tử tập trung tinh tế
quét bề mặt của mẫu và chỉ có thể thu được hình ảnh hai{0}}chiều chứ không phải hình ảnh ba{1} chiều.
1. Độ phân giải cực cao khác nhau (nguồn tín hiệu khuếch đại khác nhau)
Laser đồng tiêu: độ phân giải tối đa 150nm
Kính hiển vi điện tử quét: 20nm ~ 0,8nm
2. Các phương pháp lái xe quét khác nhau
Tiêu điểm laser: gương laser kiểm soát phạm vi quét và tốc độ quét laser
Kính hiển vi điện tử quét: Cuộn dây điện từ điều khiển phạm vi quét và tốc độ của chùm tia điện tử
3. Hình ảnh lập thể khác nhau
Tiêu điểm laser: Mẫu được điều khiển bằng mô tơ bước có độ chính xác nano đến từng lớp hình ảnh theo hướng trục Z- và phần mềm tổng hợp các hình ảnh đã thiết lập của từng lớp thành hình ảnh ba{1}}rõ ràng
Kính hiển vi điện tử quét: Hình ảnh khung đơn có độ sâu trường ảnh lớn và thuộc về hình ảnh hai chiều
4. Phạm vi ứng dụng khác nhau
Tiêu điểm laser: vài lần đến vài nghìn lần
Kính hiển vi điện tử quét: vài lần đến vài trăm nghìn lần
5. Môi trường làm việc khác nhau
Laser đồng tiêu: có thể kiểm tra mẫu trong môi trường khí quyển
Kính hiển vi điện tử quét: Kiểm tra mẫu trong môi trường chân không cao
