Sự khác biệt giữa Kính hiển vi đồng tiêu, Kính hiển vi quang học và Kính hiển vi đo lường
Giới thiệu kính hiển vi đồng tiêu
Nguyên lý làm việc của kính hiển vi đồng tiêu dựa trên khái niệm "tiêu điểm", có nghĩa là chỉ các điểm trên mặt phẳng tiêu cự của thấu kính vật kính mới có thể được chụp ảnh rõ ràng, trong khi các điểm bên ngoài mặt phẳng tiêu điểm bị loại trừ. Điều này đạt được thông qua việc sử dụng các hệ thống quang học đặc biệt, chẳng hạn như khẩu độ đồng tiêu (lỗ kim). Trong kính hiển vi đồng tiêu, một nguồn sáng (thường là tia laser) được chiếu lên mẫu và sau đó ánh sáng phản xạ hoặc phát ra từ mẫu được thu thập. Chỉ ánh sáng từ mặt phẳng tiêu điểm mới có thể đi qua khẩu độ tiêu điểm, trong khi ánh sáng từ các vị trí khác bị chặn lại, dẫn đến hình ảnh mặt phẳng tiêu cự rất rõ nét.
Ngoài ra, kính hiển vi đồng tiêu có thể quét từng lớp mẫu và thu thập dữ liệu hình ảnh cho từng lớp, sau đó sử dụng dữ liệu này để tái tạo lại hình thái ba chiều của mẫu. Phương pháp quét từng lớp này cung cấp độ phân giải cao hơn so với kính hiển vi quang học truyền thống, đặc biệt là theo hướng thẳng đứng của mẫu.
Nó có ứng dụng rộng rãi trong nhiều lĩnh vực khác nhau như khoa học vật liệu và công nghiệp bán dẫn, đặc biệt trong các tình huống cần có độ phân giải cao và khả năng chụp ảnh 3D. Các đặc tính đo lường như sau:
1. Đo lường có độ chính xác cao: Kính hiển vi đồng tiêu có thể cung cấp độ phân giải ở cấp độ nanomet, cho phép nó đo các đặc điểm mẫu rất nhỏ.
2. Hình thái ba chiều: Bằng cách quét mẫu ở các mức độ sâu khác nhau, kính hiển vi đồng tiêu có thể tạo ra hình ảnh ba chiều của mẫu, rất hữu ích cho việc phân tích cấu trúc ba chiều của mẫu.
3. Phân tích độ nhám bề mặt: Kính hiển vi đồng tiêu có thể đo và phân tích chính xác độ nhám bề mặt của mẫu. Nó có khả năng phân giải độ sâu theo chiều dọc mạnh mẽ, có thể hiển thị rõ ràng chi tiết hình thái hình ảnh của các vật thể nhỏ, hiển thị hình ảnh chi tiết tốt và có hiệu ứng hình ảnh tốt hơn cho các sản phẩm có độ dốc lớn. Điều này rất quan trọng đối với các ứng dụng khoa học và kỹ thuật vật liệu.
4. Công cụ phân tích phần mềm: Kính hiển vi đồng tiêu hiện đại thường được trang bị phần mềm chuyên dụng có thể thực hiện nhiều phép đo và phân tích khác nhau, chẳng hạn như phân tích khoảng cách, thể tích, hình dạng và kết cấu.
5. Thích hợp cho nhiều vật liệu khác nhau: Kính hiển vi đồng tiêu có thể được sử dụng để đo nhiều loại vật liệu khác nhau, bao gồm kim loại, nhựa và vật liệu bán dẫn.
