Nguyên lý phân loại và đo lường của máy đo độ dày lớp phủ
Với sự tiến bộ ngày càng tăng của công nghệ, đặc biệt là trong những năm gần đây với sự ra đời của công nghệ máy vi tính, máy đo độ dày sử dụng phương pháp từ tính và dòng điện xoáy đã đạt được tiến bộ hơn nữa theo hướng thu nhỏ, thông minh, đa chức năng, độ chính xác cao và tính thực tế về nguyên tắc phân loại và đo lường của máy đo độ dày lớp phủ. Độ phân giải của phép đo đã đạt 0,1 micron và độ chính xác có thể đạt tới 1%, điều này đã được cải thiện rất nhiều. Nó có nhiều ứng dụng, phạm vi đo rộng, vận hành dễ dàng và chi phí thấp, khiến nó trở thành dụng cụ đo độ dày được sử dụng rộng rãi trong công nghiệp và nghiên cứu khoa học. Việc sử dụng các phương pháp không phá hủy không làm hỏng lớp phủ hoặc chất nền và có tốc độ phát hiện nhanh, có thể thực hiện một lượng lớn công việc thử nghiệm một cách kinh tế.
Việc đo độ dày lớp phủ đã trở thành một phần quan trọng trong ngành công nghiệp chế biến và kiểm tra chất lượng kỹ thuật bề mặt, đồng thời là phương tiện cần thiết để sản phẩm đạt được tiêu chuẩn chất lượng tuyệt vời. Để quốc tế hóa các sản phẩm của chúng tôi, có những yêu cầu rõ ràng về độ dày của lớp phủ trong hàng hóa xuất khẩu của Trung Quốc và các dự án-có liên quan đến nước ngoài.
Các phương pháp đo chính về độ dày lớp phủ bao gồm phương pháp cắt nêm, phương pháp cắt ánh sáng, phương pháp điện phân, phương pháp đo chênh lệch độ dày, phương pháp cân, phương pháp huỳnh quang tia X, phương pháp tán xạ ngược tia beta, phương pháp điện dung, phương pháp đo từ tính và phương pháp đo dòng điện xoáy. Năm phương pháp đầu tiên trong số này là phát hiện tổn hao, có phương pháp đo phức tạp, tốc độ chậm và hầu hết phù hợp để kiểm tra lấy mẫu.
Phương pháp tia X{0}}và tia beta là các phép đo phá hủy không-không tiếp xúc{2}} nhưng thiết bị phức tạp và đắt tiền cũng như phạm vi đo nhỏ. Do có nguồn phóng xạ nên người sử dụng phải tuân thủ các quy định về bảo vệ bức xạ. Phương pháp tia X-có thể đo lớp phủ cực mỏng, lớp phủ kép và lớp phủ hợp kim. Phương pháp tia beta phù hợp để đo lớp phủ và chất nền có số nguyên tử lớn hơn 3. Phương pháp điện dung chỉ được sử dụng để đo độ dày của lớp phủ cách điện trên dây dẫn mỏng.
Nguyên lý và dụng cụ đo độ dày lớp phủ: Nguyên lý phân loại và đo lường của máy đo độ dày lớp phủ
