Đặc điểm của kính hiển vi thăm dò quét
Kính hiển vi đầu dò quét là thuật ngữ chung cho nhiều loại kính hiển vi đầu dò mới (kính hiển vi lực nguyên tử, kính hiển vi lực tĩnh điện, kính hiển vi lực từ, kính hiển vi dẫn ion quét, kính hiển vi điện hóa quét, v.v.) được phát triển trên cơ sở kính hiển vi quét đường hầm. Nó là một công cụ phân tích bề mặt được phát triển trên phạm vi quốc tế trong những năm gần đây.
Kính hiển vi đầu dò quét là loại kính hiển vi thứ ba quan sát cấu trúc vật chất ở quy mô nguyên tử, sau kính hiển vi ion trường và kính hiển vi điện tử truyền qua có độ phân giải cao. Lấy kính hiển vi quét đường hầm (STM) làm ví dụ, độ phân giải bên của nó là 0,1 ~ 0,2nm và độ phân giải độ sâu dọc của nó là 0,01nm. Độ phân giải như vậy có thể quan sát rõ ràng từng nguyên tử hoặc phân tử phân bố trên bề mặt mẫu. Trong khi đó, kính hiển vi thăm dò quét cũng có thể được sử dụng để quan sát và nghiên cứu trong không khí, các loại khí khác hoặc môi trường chất lỏng.
Kính hiển vi đầu dò quét có các đặc điểm như độ phân giải nguyên tử, vận chuyển nguyên tử và chế tạo vi mô nano. Tuy nhiên, do nguyên lý làm việc khác nhau của các loại kính hiển vi quét khác nhau nên thông tin bề mặt của mẫu được phản ánh qua kết quả của chúng rất khác nhau. Kính hiển vi quét chui hầm đo thông tin phân bố electron trên bề mặt mẫu, với độ phân giải ở mức nguyên tử nhưng vẫn không thể thu được cấu trúc thực sự của mẫu. Kính hiển vi nguyên tử phát hiện thông tin tương tác giữa các nguyên tử, từ đó thu được thông tin sắp xếp phân bố nguyên tử trên bề mặt mẫu, là cấu trúc thực sự của mẫu. Mặt khác, kính hiển vi lực nguyên tử không thể đo được thông tin trạng thái điện tử có thể so sánh với lý thuyết nên cả hai đều có điểm mạnh và điểm yếu riêng.
