Nguyên lý làm việc của máy đo độ dày lớp phủ dòng điện xoáy
1. Nguyên tắc cơ bản
Nguyên lý hoạt động cơ bản của máy đo độ dày lớp phủ dòng điện xoáy là khi đầu đo tiếp xúc với mẫu cần đo, trường điện từ tần số cao do thiết bị đầu đo tạo ra sẽ khiến dây dẫn kim loại đặt dưới đầu đo bị tạo ra dòng điện xoáy, biên độ và pha của nó là Hàm của độ dày của lớp phủ không dẫn điện giữa dây dẫn và đầu dò. Nghĩa là, trường điện từ xoay chiều do dòng điện xoáy tạo ra sẽ thay đổi các tham số của đầu dò và kích thước của biến tham số của đầu dò có thể được chuyển đổi và xử lý bằng tín hiệu điện này để thu được độ dày của lớp phủ được đo.
2. Nguyên nhân ảnh hưởng đến độ chính xác của phép đo
(1) Khi độ dày của lớp phủ lớn hơn 25 μm, sai số xấp xỉ tỷ lệ với độ dày của lớp phủ;
(2) Độ dẫn điện của kim loại cơ bản có ảnh hưởng đến phép đo, có liên quan đến thành phần của vật liệu kim loại cơ bản và phương pháp xử lý nhiệt;
(3) Bất kỳ loại máy đo độ dày nào cũng yêu cầu kim loại cơ bản phải có độ dày tới hạn. Chỉ khi nó lớn hơn độ dày này, phép đo sẽ không bị ảnh hưởng bởi độ dày của kim loại cơ bản;
(4) Máy đo độ dày dòng điện xoáy có ảnh hưởng cạnh đến việc xác định mẫu, nghĩa là phép đo gần mép của mẫu hoặc góc bên trong là không đáng tin cậy.
(5) Độ cong của mẫu có ảnh hưởng đến phép đo và ảnh hưởng này rõ ràng sẽ tăng lên khi bán kính cong giảm;
(6) Độ nhám bề mặt của kim loại cơ bản và lớp phủ ảnh hưởng đến độ chính xác của phép đo, độ nhám tăng sẽ làm tăng tác động;
(7) Máy đo độ dày dòng điện xoáy rất nhạy cảm với các chất kèm theo ngăn cản sự tiếp xúc gần giữa đầu dò và bề mặt của lớp phủ. Do đó, bụi bẩn trên bề mặt của đầu dò và lớp phủ phải được loại bỏ trước khi đo; đầu dò phải tiếp xúc với thử nghiệm trong quá trình đo.
