Tại sao máy đo độ dày lớp phủ tạo ra dữ liệu không chính xác trong quá trình đo
Khi sử dụng máy đo độ dày lớp phủ để đo, nên sử dụng vật liệu được đo làm cơ sở để điều chỉnh mức 0, nhằm tránh sai số đo do các vật liệu khác nhau dẫn đến độ dẫn từ khác nhau. Đợi cho đến khi cùng một phần của vật liệu được kiểm tra về 0, sau đó thực hiện các phép đo trên cùng một phần, chẳng hạn như về 0 riêng biệt ở cạnh và giữa phôi gia công bên.
Khi sử dụng máy đo độ dày lớp phủ để đo, cũng cần chú ý giữ đầu dò và bề mặt vật liệu đo vuông góc để tránh sai sót đáng kể. Nếu phép đo ở cùng một điểm, đầu dò có thể được di chuyển ra xa ít nhất 10 cm mỗi lần và phép đo có thể được thực hiện sau vài giây để tránh từ hóa của vật liệu được đo và ảnh hưởng đến kết quả đo.
Bề mặt bên ngoài của máy đo độ dày lớp phủ được sử dụng để điều chỉnh mức 0 phải được giữ càng mịn càng tốt. Nếu bề mặt bên ngoài không nhẵn thì nên lấy giá trị trung bình tùy theo tình huống, vì độ nhám của bề mặt bên ngoài có tác động đáng kể đến các giá trị đo được. Các cấu trúc khác nhau nên được đo riêng bằng cách điều chỉnh bằng 0. Mặt phẳng phải được điều chỉnh về 0 trên mặt bên và bề mặt lõm phải được đo sau khi điều chỉnh về 0. Bề mặt lồi nên được đo sau khi điều chỉnh về 0 để tránh sai số đo do các cấu trúc khác nhau.
Phương pháp đo bù nhiệt độ cho máy đo độ dày lớp phủ
Phương pháp đo bù nhiệt độ cho máy đo độ dày lớp phủ bao gồm bước hiệu chỉnh hệ số nhiệt độ, bước hiệu chỉnh điểm 0 khởi động và bước công việc đo độ dày và cuối cùng tính toán giá trị dx độ dày lớp phủ thực tế; Mối tương quan giữa sự thay đổi trường điện từ của cuộn cảm và nhiệt độ được sử dụng, nghĩa là để đo giá trị ở vô cực một lần trong quá trình đo. Hệ số thay đổi nhiệt độ ở vô cực tỷ lệ thuận với hệ số thay đổi nhiệt độ khi đầu dò đo ở gần bề mặt của vật được đo. Bằng cách sử dụng tính năng này để bù nhiệt độ, lỗi đo nhiệt độ có thể giảm đáng kể. Sai số đo của phương pháp này về cơ bản có thể được kiểm soát trong vòng 1%, trong khi tiêu chuẩn quốc gia của chúng tôi hiện yêu cầu sai số này phải nằm trong khoảng 3%. Qua so sánh, độ chính xác đo của phương pháp này đã đạt đến độ chính xác đo của các máy thương hiệu quốc tế, vẫn ở mức rất cao ở Trung Quốc.
