1. Cảm biến gốm áp điện
Cơ chế hoạt động chính của cảm biến gốm áp điện là hiệu ứng áp điện dương. Bởi vì không có trường hợp trở kháng đầu vào của vòng lặp là vô hạn sau khi tác dụng lực bên ngoài, hiệu ứng áp điện được sử dụng để thay thế. Chỉ có thể đo và cảm nhận ứng suất động hoặc bán tĩnh bằng cảm biến gốm. Nó chủ yếu được sử dụng để đo các thông số vật lý khác nhau, bao gồm những thay đổi về gia tốc, áp suất và độ rung. Cảm biến gốm áp điện đã được sử dụng rộng rãi như là bộ phận thiết yếu của nhiều hệ thống phát hiện và kiểm soát.
2. Cảm biến điện dung
Cảm biến điện dung sử dụng các loại tụ điện khác nhau làm phần tử cảm biến để chuyển đổi các đại lượng vật lý hoặc cơ học đo được thành các thay đổi điện dung, thực chất là các tụ điện có tham số thay đổi. Cảm biến điện dung được sử dụng rộng rãi trong đo lường dịch chuyển, góc, độ rung, tốc độ, áp suất, phân tích thành phần, tính chất trung bình, v.v. Phổ biến nhất là tụ điện dạng tấm song song hoặc tụ điện hình trụ.
3. Cảm biến điện từ
Cảm biến điện từ sử dụng nguyên lý cảm ứng điện từ để chuyển đổi tốc độ chuyển động đầu vào thành đầu ra tiềm năng cảm ứng trong cuộn dây. Nó trực tiếp chuyển đổi năng lượng cơ học của đối tượng được đo thành đầu ra tín hiệu điện và không cần nguồn điện bên ngoài để hoạt động. Nó là một cảm biến hoạt động điển hình. Do công suất đầu ra lớn của cảm biến này, mạch thiết bị thứ cấp được sử dụng được đơn giản hóa rất nhiều.
