Các yếu tố ảnh hưởng đến độ phân giải của kính hiển vi điện tử truyền qua là gì?
A. Đường kính vết chùm tia điện tử tới: là giới hạn khả năng phân giải của kính hiển vi điện tử quét. Nói chung, đường kính điểm chùm tia tối thiểu của súng điện tử catốt nóng có thể giảm xuống còn 6nm và súng điện tử phát xạ trường có thể làm cho đường kính điểm chùm tia nhỏ hơn 3nm.
B. Hiệu ứng khuếch tán của chùm êlectron tới trong mẫu: mức độ khuếch tán phụ thuộc vào năng lượng của chùm êlectron tới và số hiệu nguyên tử của mẫu. Năng lượng của chùm tia tới càng cao thì số nguyên tử của mẫu càng nhỏ, thể tích của chùm tia điện tử càng lớn và diện tích tạo ra tín hiệu càng tăng theo sự khuếch tán của chùm tia điện tử, do đó làm giảm độ phân giải.
C. Phương pháp tạo ảnh và tín hiệu điều chế được sử dụng: khi sử dụng electron thứ cấp làm tín hiệu điều chế, do năng lượng thấp (dưới 50 eV) và đường đi tự do trung bình ngắn (khoảng 10-100nm), chỉ có lớp bề mặt của 50-100 nm Các electron thứ cấp trong phạm vi độ sâu chỉ có thể thoát ra khỏi bề mặt mẫu và số lượng tán xạ xảy ra rất hạn chế và về cơ bản không mở rộng ra bên. Do đó, độ phân giải của hình ảnh điện tử thứ cấp xấp xỉ bằng đường kính của điểm chùm tia. Khi các electron tán xạ ngược được sử dụng làm tín hiệu điều chế, năng lượng của các electron tán xạ ngược tương đối cao và khả năng xuyên thấu mạnh, do đó chúng có thể thoát ra khỏi khu vực sâu hơn trong mẫu (khoảng 30 phần trăm độ sâu hiệu dụng). Trong phạm vi độ sâu này, các electron tới có độ mở rộng theo chiều ngang khá rộng, vì vậy độ phân giải của hình ảnh electron tán xạ ngược thấp hơn độ phân giải của hình ảnh electron thứ cấp, thường khoảng 500-2000nm. Nếu các chế độ hoạt động khác như hấp thụ điện tử, tia X, huỳnh quang âm cực, độ dẫn hoặc điện thế do chùm tia gây ra được sử dụng làm tín hiệu điều biến, do tín hiệu đến từ toàn bộ khu vực tán xạ chùm điện tử, độ phân giải của hình ảnh quét thu được tương đối thấp , thường là l 000 nm Hoặc cao hơn l0000nm.
