Kính hiển vi dụng cụ đa năng Các phương pháp đo phổ biến
1. Phương pháp cắt lưỡi dao và phương pháp cắt dọc trục:
Phương pháp miệng cắt và phương pháp cắt dọc trục là một loại phương pháp tổng hợp quang học và cơ học, chủ yếu đo bề mặt cắt dọc trục của ren, phương pháp này cũng có thể được sử dụng để đo các mẫu hình trụ, hình nón và phẳng, vì sai số điều chỉnh rất nhỏ và không chịu tác động từ bên ngoài. Ví dụ, cạnh không được đánh bóng, vát mép, v.v. Điều kiện của phương pháp đo này là mẫu phải có bề mặt đo phẳng, nhẵn và dao đo được giữ bằng tay trên mẫu, tiếp xúc với mẫu trên mặt phẳng đo. Đối với các mẫu tròn, mặt phẳng đo này tiếp xúc với trục quay và một đường mỏng song song với cạnh của dao cắt biểu thị đường cắt dọc trục của mẫu thử. Đường thẳng thẳng hàng với dấu tham chiếu của thị kính đo góc. Mép của vết cắt không mài mòn tiếp xúc với trục căn chỉnh thông qua các chữ thập trong trường nhìn và khoảng cách từ đường mảnh đến mép vết cắt không cần phải tính đến trong phép đo; chỉ khi phép đo được thực hiện với vết cắt bị mòn thì sai số của vết cắt mới được trừ khỏi giá trị đo được. Ở đây cần chú ý đến: cặn bụi và chất lỏng trên bề mặt kiểm tra, khi kiểm tra vị trí vết cắt theo khe hở ánh sáng, cặn chất lỏng sẽ gây ra sai số. Pad và dụng cụ ** chiều cao phù hợp, không thể điều chỉnh sai, làm sạch trước khi sử dụng.
2, phương pháp bóng:
Phương pháp tạo bóng hoàn toàn là quang học, nó có thể nhanh chóng điều chỉnh thiết bị để căn chỉnh đường viền mẫu và so sánh hình dạng. Phương pháp đo này yêu cầu mẫu vật phải được đặt trong đường ánh sáng từ dưới lên và trong phạm vi rõ ràng của kính hiển vi căn chỉnh sao cho hình ảnh bóng của mẫu vật. Hình ảnh của phôi tròn là bóng của đường viền của mặt phẳng trục, trong khi hình ảnh bóng của mẫu vật phẳng được xác định bởi các cạnh của nó. Phép đo được thực hiện bằng cách sử dụng một thị kính quay và một thị kính đo góc có đường rạch tiếp xúc với bóng. Khi so sánh hình dạng của mẫu thử với hình tự vẽ, có thể sử dụng thiết bị chiếu và sử dụng quan sát bằng hai mắt.
3, phương pháp phản ánh:
Phương pháp phản xạ cũng là phương pháp tiếp xúc quang học, phương pháp phản xạ được đặc trưng bởi việc đo các cạnh và dấu hiệu, chẳng hạn như: vẽ nguệch ngoạc, mắt đục lỗ mẫu, v.v. Phương pháp này cũng có thể được sử dụng để xoay thị kính của đồ họa đường khắc để so sánh hình dạng . Mặt phẳng đo được xác định từ mặt phẳng trong của kính hiển vi. Phương pháp đo này chủ yếu được sử dụng cho các mẫu phẳng. Đo vạch kẻ và đục lỗ mẫu bằng thị kính đo góc, đo cạnh lỗ bằng thị kính ảnh kép, so sánh hình dạng của thị kính với thị kính quay.
4, Phương pháp đòn bẩy vi mô
Phương pháp đòn bẩy vi mô không thể được sử dụng để đo liên kết quang học của bề mặt đo, ví dụ: lỗ, nhiều bề mặt cong và bề mặt xoắn ốc, trong đó đặc biệt chú ý đến hướng tương đối của bề mặt tiếp xúc hoặc bề mặt tiếp xúc khi đường kính của đầu đo cũng cần được đưa vào kết quả đo. Đối với các phép đo đặc biệt, nên sản xuất các thanh tiếp xúc phù hợp. Đầu đo hình cầu có đường kính nhất định được sử dụng để kiểm tra đường cong lăn và đầu đo nhọn được sử dụng để kiểm tra các bề mặt xoắn ốc trong một bề mặt đo nhất định. Đầu đo cạnh dao được sử dụng để đo các bề mặt tiếp tuyến và hình chiếu của đường cong không gian chỉ với hai trục.
