Nguyên lý hình ảnh kính hiển vi điện tử truyền qua
Chùm tia điện tử của kính hiển vi điện tử quét không đi qua mẫu mà tập trung vào một vùng nhỏ của mẫu càng nhiều càng tốt, sau đó quét từng dòng mẫu. Các electron tới sẽ kích thích các electron thứ cấp trên bề mặt mẫu. Kính hiển vi quan sát các electron rải rác từ mỗi điểm. Tinh thể nhấp nháy được đặt bên cạnh mẫu sẽ nhận các electron thứ cấp này và điều chỉnh cường độ chùm tia điện tử của ống hình sau khi khuếch đại, do đó làm thay đổi độ sáng của màn hình huỳnh quang ống hình. Hình ảnh là hình ảnh ba chiều phản ánh cấu trúc bề mặt của mẫu vật. Cuộn dây lệch của ống tia âm cực được quét đồng bộ với chùm tia điện tử trên bề mặt mẫu, nhờ đó màn huỳnh quang của ống tia âm cực hiển thị hình ảnh hình thái của bề mặt mẫu, tương tự như nguyên lý làm việc của công nghiệp tivi. Do thực tế là các electron trong kính hiển vi như vậy không cần phải truyền qua mẫu nên điện áp cần thiết để tăng tốc electron không cần phải quá cao.
Độ phân giải của kính hiển vi điện tử quét chủ yếu được xác định bởi đường kính của chùm tia điện tử trên bề mặt mẫu. Độ phóng đại là tỷ số giữa biên độ quét trên ống tia âm cực với biên độ quét trên mẫu, có thể thay đổi liên tục từ hàng chục lần đến hàng trăm nghìn lần. Kính hiển vi điện tử quét không yêu cầu mẫu rất mỏng; Hình ảnh có cảm giác ba chiều mạnh mẽ; Nó có thể phân tích thành phần của các chất bằng cách sử dụng thông tin như electron thứ cấp, electron bị hấp thụ và tia X được tạo ra bởi sự tương tác giữa chùm tia điện tử và các chất.
Việc chế tạo kính hiển vi điện tử quét dựa trên sự tương tác giữa các electron và vật chất. Khi chùm electron năng lượng cao bắn phá bề mặt vật liệu, vùng bị kích thích sẽ tạo ra các electron thứ cấp, electron Auger, tia X đặc trưng và tia X phổ liên tục, electron tán xạ ngược, electron truyền qua, cũng như bức xạ điện từ trong vùng khả kiến. vùng tử ngoại, vùng hồng ngoại. Đồng thời, các cặp lỗ electron, dao động mạng (phonon) và dao động điện tử (plasma) cũng có thể được tạo ra.
