Để tăng độ phân giải, tức là giảm giá trị của σ, làm thế nào
(1) Giảm giá trị λ của bước sóng và sử dụng nguồn sáng có bước sóng ngắn.
(2) Tăng giá trị n trung bình để tăng giá trị NA (NA=nsinu/2).
(3) Tăng giá trị góc khẩu độ u để tăng giá trị NA.
(4) Tăng độ tương phản giữa sáng và tối.
