Có một số lý do chính khiến máy đo độ dày lớp phủ đo lường không chính xác.
Máy đo độ dày lớp phủ áp dụng công nghệ cảm ứng từ mới, đó là hiệu ứng Hall. Bằng cách nghiên cứu mối quan hệ giữa điện áp Hall và dòng điện hoạt động, nó đo từ trường và tính thấm của nam châm điện, đồng thời nghiên cứu mối quan hệ giữa điện áp Hall và từ trường. Từ trường này trở nên đều đặn. Khi nguyên tắc này được áp dụng cho máy đo độ dày lớp phủ, không cần điều chỉnh mẫu thử. Đặc biệt khi đo các sản phẩm hình cung hoặc lõm, việc sử dụng trở nên đơn giản và thuận tiện hơn.
Máy đo độ dày lớp phủ sử dụng phương pháp cảm ứng điện từ để đo độ dày của lớp phủ. Đầu dò nằm trên bề mặt của linh kiện tạo ra một mạch từ kín. Khi khoảng cách giữa đầu dò và vật liệu sắt từ thay đổi, mạch từ sẽ thay đổi ở các mức độ khác nhau, gây ra những thay đổi về điện trở từ và độ tự cảm của cuộn dây đầu dò. Nguyên tắc này có thể được sử dụng để đo chính xác khoảng cách giữa đầu dò và vật liệu sắt từ, nghĩa là độ dày lớp phủ.
Nếu máy đo độ dày lớp phủ không được sử dụng trong một thời gian dài, nó cần được sạc và xả thường xuyên để tránh pin bị khóa. Đối với một số phôi nhỏ hoặc phôi có lớp phủ đặc biệt mỏng, nên sử dụng phép đo liên tục.
Có một số lý do dẫn đến sai số đo của máy đo độ dày lớp phủ:
1. Cấu trúc và hình dạng của vật liệu được đo bằng máy đo độ dày là khác nhau. Trên các phôi có cấu trúc khác nhau, sự phân bố từ trường sẽ thay đổi theo các cấu trúc và hình dạng khác nhau, điều này sẽ gây ra lỗi đo lường.
2. Bản thân vật liệu được đo có chứa từ tính. Một số vật liệu có từ trường dư trong vật liệu được kiểm tra trong quá trình xử lý hoặc các yêu cầu quy trình nhất định. Do sự phân bố không đồng đều của nó, kết quả là lỗi đo lường cũng không nhất quán và giá trị đo được của một số bộ phận trên cùng một phôi sẽ đột nhiên trở nên lớn hơn hoặc nhỏ hơn.
3. Các bộ phận khác nhau của cùng một vật liệu cũng có thể tạo ra những thay đổi trong từ trường. Ví dụ, sự phân bố từ trường khác nhau giữa vùng cạnh và vùng giữa của vật liệu, điều này sẽ gây ra lỗi đo lường.
4. Đặc tính của vật liệu đo được là khác nhau, từ thông sẽ khác nhau, đây cũng là một trong những nguyên nhân gây ra lỗi.
5. Kích thước và độ dày của vật liệu khác nhau cũng có thể dẫn đến sai số đo lường.
6. Bề mặt của vật liệu được đo không đủ nhẵn, đây cũng là nguyên nhân gây ra lỗi.
