Có một số nguồn sai số đo chính trong máy đo độ dày lớp phủ
Máy đo độ dày lớp phủ áp dụng công nghệ cảm biến từ tính mới, đó là hiệu ứng Hall, bằng cách nghiên cứu mối quan hệ giữa điện áp Hall và dòng điện làm việc, đo từ trường của nam châm điện, độ thấm từ, nghiên cứu mối quan hệ giữa điện áp Hall và từ trường. Từ trường này sau đó trở nên đều đặn. Nguyên lý được sử dụng trong máy đo độ dày lớp phủ ở trên là không cần điều chỉnh mẫu thử. Đặc biệt khi đo bề mặt vòng cung hoặc lõm của sản phẩm sẽ sử dụng đơn giản và thuận tiện hơn.
Máy đo độ dày lớp phủ sử dụng cảm ứng điện từ để đo độ dày lớp phủ. Đầu dò nằm trên bề mặt của bộ phận tạo ra một mạch từ kín, mạch này thay đổi theo các mức độ khác nhau khi khoảng cách giữa đầu dò và vật liệu sắt từ thay đổi, gây ra những thay đổi về điện trở từ và độ tự cảm của cuộn dây đầu dò. Nguyên lý này có thể được sử dụng để đo chính xác khoảng cách giữa đầu dò và vật liệu sắt từ, tức là độ dày lớp phủ.
Máy đo độ dày lớp phủ không được sử dụng trong thời gian dài để sạc và xả thường xuyên nhằm tránh hiện tượng khóa pin, đối với một số phôi nhỏ hoặc phôi mỏng có lớp phủ đặc biệt thì nên sử dụng phép đo liên tục.
Lỗi đo máy đo độ dày lớp phủ do một số nguyên nhân chính:
1. Máy đo độ dày được đo bằng cấu trúc của các vật liệu khác nhau, hình dạng khác nhau. Trong cấu trúc khác nhau của phôi, sự phân bố từ trường sẽ khác nhau tùy theo cấu trúc, hình dạng và sẽ tạo ra sai số đo.
2. Bản thân vật liệu đo có chứa từ tính. Một số vật liệu trong quá trình xử lý hoặc yêu cầu quy trình nhất định để vật liệu đo có từ trường dư. Do sự phân bố không đồng đều nên sai số đo không nhất quán, sẽ có một số bộ phận trong cùng một phôi có giá trị đo đột nhiên lớn hơn hoặc nhỏ hơn.
3. Các bộ phận khác nhau của cùng một vật liệu cũng có thể tạo ra những thay đổi trong từ trường, chẳng hạn như rìa của vật liệu và phần giữa của vùng, sự phân bố của từ trường không giống nhau, sẽ tạo ra sai số đo.
4. Bản chất khác nhau của vật liệu được đo, từ thông của nó sẽ khác nhau, đây cũng là một trong những nguyên nhân gây ra sai số.
5. Kích thước và độ dày khác nhau của vật liệu cũng có thể dẫn đến sai số đo.
6. Bề mặt của vật liệu đo không đủ mịn cũng là nguyên nhân gây ra sai số.
