Sự khác biệt giữa kính hiển vi đồng tiêu laser và kính hiển vi điện tử quét
Cả kính hiển vi đồng tiêu laser và kính hiển vi điện tử quét đều là hình ảnh quét nguồn điểm, điều chỉnh độ phóng đại bằng cách kiểm soát phạm vi truyền động quét. Kính hiển vi đồng tiêu laser hoạt động thông qua quét laser và có thể thu được hình ảnh ba chiều. Kính hiển vi điện tử quét sử dụng nhiều tín hiệu vật lý khác nhau được kích thích bởi chùm tia điện tử tập trung tinh vi khi quét bề mặt mẫu để điều chỉnh hình ảnh. Nó chỉ có thể thu được hình ảnh hai chiều chứ không phải hình ảnh ba chiều.
1. Độ phân giải giới hạn khác nhau (các nguồn tín hiệu khuếch đại khác nhau)
Tiêu điểm laser: độ phân giải tối đa 150nm
Kính hiển vi điện tử quét: 20nm~0,8nm
2. Các phương pháp lái xe quét khác nhau
Tiêu điểm laser: Gương xoay laser kiểm soát phạm vi quét và tốc độ quét laser
Kính hiển vi điện tử quét: cuộn dây điện từ điều khiển phạm vi quét và tốc độ quét của chùm tia điện tử
3. Hình ảnh lập thể thì khác
Tiêu điểm laser: Mẫu được điều khiển bởi động cơ bước có độ chính xác nano đến từng lớp hình ảnh theo hướng trục Z và phần mềm tổng hợp các hình ảnh đã thiết lập của từng lớp thành hình ảnh lập thể ba chiều rõ ràng
Kính hiển vi điện tử quét: Hình ảnh khung đơn có độ sâu trường ảnh lớn và thuộc về hình ảnh hai chiều
4. Phạm vi ứng dụng khác nhau
Tiêu điểm laser: vài đến vài nghìn lần
Kính hiển vi điện tử quét: vài lần đến vài trăm nghìn lần
5. Môi trường làm việc khác nhau
Laser đồng tiêu: có khả năng kiểm tra mẫu trong môi trường khí quyển
Kính hiển vi điện tử quét: kiểm tra mẫu trong môi trường chân không cao
