Sự khác biệt giữa kính hiển vi điện tử và kính hiển vi kim loại
Kính hiển vi điện tử quét, viết tắt là SEM, là một hệ thống phức tạp bao gồm công nghệ quang điện tử ngưng tụ, công nghệ chân không, cấu trúc cơ khí tinh tế và công nghệ điều khiển máy tính hiện đại. Kính hiển vi điện tử quét thu thập các electron phát ra từ súng điện tử thành chùm electron nhỏ thông qua thấu kính điện từ nhiều tầng dưới tác dụng tăng tốc điện áp cao. Quét bề mặt mẫu kích thích nhiều thông tin khác nhau và bằng cách nhận, khuếch đại và hiển thị thông tin, bề mặt mẫu có thể được phân tích. Sự tương tác giữa các electron tới và mẫu tạo ra các loại thông tin như trong Hình 1. Sự phân bố cường độ hai chiều của thông tin này thay đổi theo đặc điểm của bề mặt mẫu (các đặc điểm này bao gồm hình thái bề mặt, thành phần, hướng tinh thể, tính chất điện từ, v.v.), đây là sự chuyển đổi tuần tự và tỷ lệ của thông tin được thu thập bởi các máy dò khác nhau. Tín hiệu video được chuyển đổi thành tín hiệu video và sau đó được gửi đến ống hình ảnh quét đồng bộ và độ sáng của nó được điều chỉnh để thu được hình ảnh được quét phản ánh tình trạng bề mặt của mẫu. Nếu tín hiệu mà máy dò nhận được được xử lý kỹ thuật số và chuyển đổi thành tín hiệu số thì nó có thể được máy tính xử lý và lưu trữ thêm. Kính hiển vi điện tử quét chủ yếu được sử dụng để quan sát các mẫu vật dày có chênh lệch chiều cao lớn và không đồng đều. Do đó, hiệu ứng độ sâu trường ảnh được nhấn mạnh trong thiết kế. Nó thường được sử dụng để phân tích các vết nứt và bề mặt tự nhiên chưa được xử lý nhân tạo.
Kính hiển vi điện tử và kính hiển vi luyện kim
1. Các nguồn sáng khác nhau: Kính hiển vi kim loại sử dụng ánh sáng khả kiến làm nguồn sáng và kính hiển vi điện tử quét sử dụng chùm tia điện tử làm nguồn sáng để chụp ảnh.
2. Nguyên lý khác nhau: Kính hiển vi kim loại sử dụng nguyên lý hình ảnh quang học hình học để chụp ảnh, trong khi kính hiển vi điện tử quét sử dụng chùm tia điện tử năng lượng cao để bắn phá bề mặt mẫu để kích thích các tín hiệu vật lý khác nhau trên bề mặt mẫu, sau đó sử dụng các máy dò tín hiệu khác nhau để nhận các tín hiệu vật lý và chuyển đổi chúng thành hình ảnh. thông tin.
3. Độ phân giải khác nhau: Do sự giao thoa và nhiễu xạ ánh sáng, độ phân giải của kính hiển vi kim loại chỉ có thể bị giới hạn ở 0.2-0.5um. Vì kính hiển vi điện tử quét sử dụng chùm tia điện tử làm nguồn sáng nên độ phân giải của nó có thể đạt tới trong khoảng 1-3nm. Do đó, việc quan sát mô dưới kính hiển vi kim loại thuộc phân tích cấp độ micron, trong khi quan sát mô dưới kính hiển vi điện tử quét thuộc phân tích cấp độ nano.
4. Độ sâu trường ảnh khác nhau: Nói chung, độ sâu trường ảnh của kính hiển vi kim loại nằm trong khoảng 2-3um, do đó nó có yêu cầu cực kỳ cao về độ mịn bề mặt của mẫu nên quá trình chuẩn bị mẫu tương đối phức tạp. Kính hiển vi điện tử quét có độ sâu trường ảnh lớn, trường nhìn rộng và hình ảnh ba chiều và có thể quan sát trực tiếp cấu trúc mịn của bề mặt không bằng phẳng của các mẫu khác nhau.
