Một số nguyên nhân dẫn đến sai số đo của máy đo độ dày lớp phủ
1. Cấu trúc và hình dạng của vật liệu được đo bằng máy đo độ dày là khác nhau. Trên các phôi có cấu trúc khác nhau, sự phân bố từ trường sẽ thay đổi theo các cấu trúc và hình dạng khác nhau, điều này sẽ gây ra lỗi đo lường.
2. Bản thân vật liệu được đo có chứa từ tính. Một số vật liệu có từ trường dư trong vật liệu được kiểm tra trong quá trình xử lý hoặc các yêu cầu quy trình nhất định. Do sự phân bố không đồng đều của nó, kết quả là lỗi đo lường cũng không nhất quán và giá trị đo được của một số bộ phận trên cùng một phôi sẽ đột nhiên trở nên lớn hơn hoặc nhỏ hơn.
3. Các bộ phận khác nhau của cùng một vật liệu cũng có thể tạo ra những thay đổi trong từ trường. Ví dụ, sự phân bố từ trường khác nhau giữa vùng cạnh và vùng giữa của vật liệu, điều này sẽ gây ra lỗi đo lường.
4. Đặc tính của vật liệu đo được là khác nhau, từ thông sẽ khác nhau, đây cũng là một trong những nguyên nhân gây ra lỗi.
5. Kích thước và độ dày của vật liệu khác nhau cũng có thể dẫn đến sai số đo lường.
6. Bề mặt của vật liệu được đo không đủ nhẵn, đây cũng là nguyên nhân gây ra lỗi.
