Một số nguyên nhân chính dẫn đến sai số đo trong máy đo độ dày lớp phủ
Máy đo độ dày lớp phủ áp dụng công nghệ cảm ứng từ mới, đó là hiệu ứng Hall. Bằng cách nghiên cứu mối quan hệ giữa điện áp Hall và dòng điện làm việc, người ta đo được từ trường và độ thấm của nam châm điện, đồng thời nghiên cứu mối quan hệ giữa điện áp Hall và từ trường. Từ trường này trở nên đều đặn. Khi nguyên tắc này được áp dụng cho máy đo độ dày lớp phủ, không cần phải điều chỉnh lại mẫu thử. Đặc biệt khi đo những sản phẩm có bề mặt tròn hoặc lõm thì việc sử dụng sẽ đơn giản và thuận tiện hơn.
Máy đo độ dày lớp phủ sử dụng phương pháp cảm ứng điện từ để đo độ dày của lớp phủ. Đầu dò nằm trên bề mặt của bộ phận tạo ra một mạch từ kín, mạch này sẽ thay đổi ở các mức độ khác nhau khi khoảng cách giữa đầu dò và vật liệu sắt từ thay đổi, gây ra những thay đổi về điện trở từ và độ tự cảm của cuộn dây đầu dò. Nguyên lý này có thể được sử dụng để đo chính xác khoảng cách giữa đầu dò và vật liệu sắt từ, tức là độ dày lớp phủ.
Máy đo độ dày lớp phủ phải được sạc và xả thường xuyên nếu không sử dụng trong thời gian dài để tránh hiện tượng khóa pin. Đối với một số phôi nhỏ hoặc phôi có lớp phủ đặc biệt mỏng, nên sử dụng phép đo liên tục.
Một số nguyên nhân chính gây ra sai số đo trong máy đo độ dày lớp phủ:
1. Máy đo độ dày đo các vật liệu có cấu trúc và hình dạng khác nhau. Trên các phôi có cấu trúc khác nhau, sự phân bố từ trường sẽ thay đổi theo cấu trúc và hình dạng, dẫn đến sai số đo.
2. Bản thân vật liệu được thử nghiệm có chứa từ tính. Một số vật liệu có thể có từ trường dư bên trong vật liệu được thử nghiệm trong quá trình xử lý hoặc các yêu cầu quy trình nhất định. Do sự phân bố không đồng đều nên các sai số đo do nó gây ra cũng không nhất quán và giá trị đo ở một số phần nhất định của cùng một phôi có thể tăng hoặc giảm đột ngột.
3. Các bộ phận khác nhau của cùng một vật liệu cũng có thể tạo ra những thay đổi trong từ trường, chẳng hạn như sự phân bố từ trường khác nhau ở các cạnh và khu vực giữa của vật liệu, điều này có thể dẫn đến sai số đo.
4. Các đặc tính khác nhau của vật liệu được thử nghiệm dẫn đến từ thông khác nhau, đây cũng là một trong những nguyên nhân gây ra sai sót.
5. Kích thước và độ dày khác nhau của vật liệu cũng có thể dẫn đến sai số đo.
6. Bề mặt của vật liệu được kiểm tra không đủ mịn, đây cũng là nguyên nhân gây ra lỗi.
