Một số phương pháp đo độ phẳng thường dùng
Độ phẳng là một trong những dung sai hình học, dùng để chỉ độ lệch của chiều cao lồi lõm vĩ mô trên bề mặt vật thể so với mặt phẳng lý tưởng. Trong các phương pháp phát hiện truyền thống, phép đo độ phẳng thường bao gồm: phương pháp đo phích cắm/máy đo cảm biến, phương pháp đo mức chất lỏng, phương pháp đo giao thoa kế mặt phẳng laser (phương pháp đo giao thoa tinh thể phẳng), phương pháp đo mức kỹ thuật số/máy đo mức và Luật đo lường mét.
Phương pháp đo cảm biến chỉ cần một bộ cảm biến di động để thực hiện phép đo sơ bộ về độ phẳng mọi lúc mọi nơi. Hiện nay, nhiều nhà máy vẫn sử dụng phương pháp này để phát hiện. Do độ chính xác thấp, thước đo cảm biến thông thường mỏng nhất là 10um, hiệu quả phát hiện thấp, kết quả không đủ toàn diện và chỉ có thể phát hiện được cạnh của bộ phận.
Phương pháp đo mức chất lỏng, dựa trên nguyên lý làm việc của đầu nối, thích hợp để đo độ phẳng của các mặt phẳng lớn liên tục hoặc không liên tục, nhưng thời gian đo lâu và nhạy cảm với nhiệt độ nên chỉ phù hợp với các mặt phẳng có độ phẳng thấp. đo lường độ chính xác.
Phương pháp đo giao thoa kế mặt phẳng laser, cách sử dụng điển hình nhất là giao thoa kế tinh thể phẳng. Nhưng nó chủ yếu được sử dụng để đo các mặt phẳng nhỏ nhẵn, chẳng hạn như bề mặt đo của micromet, bề mặt làm việc của máy đo và thấu kính quang học.
Phương pháp đo mức được sử dụng rộng rãi trong phép đo độ thẳng và độ phẳng của bề mặt phôi. Độ chính xác đo cao, ổn định tốt, kích thước nhỏ, dễ mang theo. Tuy nhiên, khi sử dụng phương pháp này để đo, cần phải di chuyển nhiều lần vị trí của thiết bị và ghi lại dữ liệu của từng điểm đo, rất tốn thời gian, công sức, thời gian điều chỉnh lâu và quy trình xử lý dữ liệu rườm rà.
Ứng dụng điển hình của phương pháp đo mét là panme phẳng và dụng cụ ba tọa độ, trong đó dụng cụ ba tọa độ được sử dụng rộng rãi nhất. Trong quá trình đo, chỉ báo di chuyển trên mẫu cần kiểm tra và dữ liệu của từng điểm đo so với tham chiếu đo được đo theo các điểm bố trí đã chọn, sau đó đánh giá lỗi độ phẳng thông qua xử lý dữ liệu. Nhưng hiệu quả của nó thấp, thông thường một mẫu mất vài phút, khác xa so với kỳ vọng là 15ppm.
