Chế độ làm việc của Kính hiển vi điện tử quét đường hầm
Mặc dù kính hiển vi điện tử quét đường hầm có cấu hình khác nhau nhưng chúng đều bao gồm ba bộ phận chính sau: hệ thống cơ học (gương) điều khiển đầu dò chuyển động ba chiều so với bề mặt của mẫu vật dẫn điện, hệ thống điện tử điều khiển và theo dõi khoảng cách giữa đầu dò và mẫu vật và hệ thống hiển thị chuyển đổi dữ liệu đo được thành hình ảnh. Nó có hai chế độ hoạt động: chế độ dòng không đổi và chế độ chiều cao không đổi.
Chế độ hiện tại không đổi
Dòng điện trong đường hầm được điều khiển bằng cách sử dụng một bộ mạch phản hồi điện tử để giữ cho nó không đổi. Một hệ thống máy tính điều khiển việc quét đầu kim trên bề mặt mẫu, tức là đầu kim di chuyển theo hai chiều dọc theo hướng x và y. Khi dòng điện xuyên hầm được điều khiển không đổi, chiều cao cục bộ giữa đầu và bề mặt mẫu cũng được giữ không đổi, và do đó đầu sẽ thực hiện chuyển động nhấp nhô tương tự với chiều cao của bề mặt mẫu và thông tin về chiều cao sẽ được phản ánh kết quả là Điều này có nghĩa là kính hiển vi điện tử quét đường hầm thu được thông tin ba chiều về bề mặt mẫu. Chế độ hoạt động này được sử dụng rộng rãi vì thông tin hình ảnh toàn diện và chất lượng hình ảnh vi mô cao.
Chế độ chiều cao không đổi
Trong quá trình quét mẫu phải duy trì độ cao tuyệt đối của đầu kim không đổi; do đó đầu kim và bề mặt mẫu của khoảng cách cục bộ sẽ thay đổi, độ lớn của dòng điện xuyên hầm tôi cũng thay đổi; thông qua máy tính để ghi lại những thay đổi trong dòng điện đường hầm và chuyển đổi thành tín hiệu hình ảnh được hiển thị, nghĩa là để có được hình ảnh kính hiển vi điện tử quét đường hầm. Cách làm việc này chỉ áp dụng cho bề mặt mẫu tương đối phẳng và thành phần của một thành phần duy nhất.
