Nguyên lý và phương pháp vi mô đồng tiêu
Kính hiển vi đồng tiêu là tên viết tắt của Kính hiển vi quét đồng tiêu Laser LCSM, được chụp ảnh bằng kính hiển vi sử dụng chủ yếu các kỹ thuật chụp ảnh 3D, mang lại độ phân giải hình ảnh 3D cao. Những điều này đạt được bằng cách xây dựng các ảnh vi mô.
Nguyên tắc chụp ảnh kính hiển vi đồng tiêu
Thiết bị kính hiển vi đồng tiêu được đặt trên bề mặt liên hợp của mặt phẳng tiêu điểm của vật cần đo hai lỗ nhỏ, một lỗ đặt trước nguồn sáng và lỗ kia đặt trước đầu dò, ảnh thu được là ánh sáng phát ra từ một nguồn sáng. mặt phẳng tiêu điểm được chụp bằng cách lấy nét thông qua máy ảnh kỹ thuật số lỗ kim và thông qua chuỗi hình ảnh của các mặt phẳng tiêu điểm khác nhau đã được tích lũy, một hình ảnh 3d hoàn chỉnh sẽ được biên soạn bằng phần mềm.
Hệ thống kính hiển vi đồng tiêu hiển thị hình ảnh phóng to với độ chi tiết cao hơn kính hiển vi quang học thông thường. Ở cùng độ phóng đại vật kính, kính hiển vi đồng tiêu hiển thị hình ảnh với các chi tiết hình thái sắc nét hơn và mịn hơn cũng như độ phân giải ngang cao hơn. Là một công cụ để phát hiện micro-nano, kính hiển vi đồng tiêu khác với phép đo giao thoa ánh sáng trắng về nhiều mặt. Nếu dùng một từ để mô tả thì giao thoa ánh sáng trắng là một “văn chương”, còn kính hiển vi đồng tiêu là một “võ thuật”. Ánh sáng trắng có khả năng phát hiện bề mặt siêu mịn dưới nanomet, theo đuổi độ chính xác của giá trị phát hiện; trong khi tiêu điểm có khả năng phát hiện đường viền thô ở kích thước micro-nanomet rất tốt, mặc dù độ phân giải hơi kém hơn trong khả năng phát hiện nhưng có thể cung cấp hình ảnh màu sắc trung thực đầy màu sắc để dễ quan sát.
Nguyên tắc kính hiển vi đồng tiêu đến công nghệ đồng tiêu, kết hợp với mô-đun quét Z chính xác, thuật toán mô hình 3D, v.v., có thể đo tất cả các loại bao gồm từ mịn đến thô, độ phản xạ thấp đến độ phản xạ cao của bề mặt vật thể, từ nano đến micron mức độ nhám của phôi, độ phẳng, đường viền hình học vi mô, độ cong và các thông số khác của nhiều loại sản phẩm, linh kiện và vật liệu bề mặt bề mặt của đường viền bề mặt, khuyết tật bề mặt, hao mòn, điều kiện ăn mòn, Đo lường và phân tích các đặc điểm bề mặt như độ phẳng , độ nhám, nếp gấp, độ hở lỗ chân lông, chiều cao bước, biến dạng uốn, gia công và các đặc điểm bề mặt khác.
