Đo lường chuyên môn bằng kính hiển vi
1. Phương pháp ảnh: Phương pháp ảnh là phương pháp đo lường sử dụng dấu của kính hiển vi trung tâm Olympus để nhắm và định vị phương pháp ảnh. Khi đo, thường sử dụng ô trên ô ngắm để nhắm vào cạnh của hình ảnh đối tượng thử nghiệm, đọc giá trị trên kính hiển vi đọc của Olympus, sau đó di chuyển bàn làm việc để nhắm vào ô đó. sang phía bên kia của hình ảnh tệp và thực hiện một lần đọc khác. Sự khác biệt giữa hai lần đọc là giá trị đo được của DUT.
2. Phương pháp cắt trục: Phương pháp cắt trục là phương pháp đo sử dụng vạch của kính hiển vi trung tâm nhắm vào đường trục của mẫu thử và sử dụng vạch khắc trên dao đo. Dao đo là một phụ kiện của Universal Display. Có một đường khắc trên bề mặt của nó và kích thước từ đường khắc đến cạnh cắt là 0.3 mm và 0.9 mm. Khi đo, đặt dao đo lên tấm lót của dao đo, đường kẻ vạch đi qua trục của mẫu thử và mép của dao đo Miệng tiếp xúc gần với bề mặt cần kiểm tra, nhắm bằng vạch hình đồng hồ đo tương ứng, đo khoảng cách giữa các vạch khắc của hai dao đo và đo gián tiếp giá trị đo của mẫu được kiểm tra. Để tránh tính toán trong phép đo, hai nhóm gồm bốn đường song song phân bố đối xứng được khắc ở hai bên của đường Mizi dọc ở giữa. Khoảng cách giữa mỗi tập hợp các đường khắc và đường khắc ở giữa là 0.9 và 2,7 mm, đây chính xác là con dao đo. Khoảng cách giữa lưỡi cắt và mặt kẻ ô là 3 lần giữa 0.3 và 0.9 mm. Theo cách này, khi nhắm với vật kính 3x, các vạch khắc 0.9 và 2,7 mm trên mặt kẻ ô chỉ cần nhấn các vạch khắc {{20}}.3 và 0,9 mm trên mặt kẻ ô dao đo. nhắm vào. Chủ yếu được sử dụng để đo đường kính bước của các chủ đề.
3. Phương pháp tiếp xúc: Phương pháp tiếp xúc là sử dụng cặp dấu của kính hiển vi trung tâm và phần đính kèm màn hình vạn năng gần với điểm đo, đường và bề mặt của mẫu thử -- mặt kẻ ô kép được kết nối với nhau bằng đầu đo của thiết bị đo lỗ quang Hướng vào vị trí của phương pháp đo. Khi đo, đầu đo của thiết bị đo lỗ quang được ấn vào bề mặt của bộ phận (bên trong và bên ngoài). Khi đo đường kính lỗ, trước tiên hãy để đầu dò tiếp xúc với lỗ bên trong của mẫu thử và sau khi có được độ dài dây cung tối đa, hãy đặt vạch khắc ở giữa của vạch từ đồng hồ đo ở giữa bằng bộ đôi vạch của thiết bị đo lỗ quang học và đọc một số trong kính hiển vi đọc; Sau đó, thay đổi hướng đo sao cho đầu đo tiếp xúc với mẫu thử ở phía bên kia và ô giữa của ô kẻ ô hình mét vẫn còn được bao phủ bởi bộ đôi vạch của thiết bị đo lỗ quang học ở giữa và đọc trên kính hiển vi đọc Số khác. Sự khác biệt giữa hai lần đọc, cộng với giá trị thực của đường kính của đầu dò, là kích thước bên trong của mẫu thử và nếu giá trị thực của đường kính của đầu dò bị trừ đi, thì đó là kích thước bên ngoài của mẫu thử .
