Giới thiệu về cấu tạo của kính hiển vi điện tử
Kính hiển vi điện tử bao gồm ba phần: thùng thấu kính, hệ thống chân không và tủ cung cấp điện. Nòng ống kính chủ yếu bao gồm súng điện tử, thấu kính điện tử, giá đỡ mẫu, màn hình huỳnh quang và cơ chế máy ảnh. Các cấu kiện này thường được ghép thành một cột từ trên xuống dưới; hệ thống chân không bao gồm máy bơm chân không cơ học, máy bơm khuếch tán và van chân không. Đường ống dẫn khí được kết nối với nòng thấu kính và tủ nguồn bao gồm một máy phát điện áp cao, bộ ổn định dòng kích thích và các bộ điều khiển điều chỉnh khác nhau.
◆Ống kính điện tử
Thấu kính điện tử là bộ phận quan trọng nhất của nòng kính hiển vi điện tử. Nó sử dụng một điện trường không gian hoặc từ trường đối xứng với trục của vành thấu kính để bẻ cong vệt điện tử theo trục để tạo thành tiêu điểm. Chức năng của nó tương tự như chức năng của một thấu kính lồi bằng thủy tinh để hội tụ chùm tia, vì vậy nó được gọi là electron. thấu kính. Hầu hết các kính hiển vi điện tử hiện đại đều sử dụng thấu kính điện từ, tập trung các electron thông qua một từ trường mạnh được tạo ra bởi dòng kích thích một chiều rất ổn định đi qua một cuộn dây có đế giày.
◆Súng điện tử
Súng điện tử là một thành phần bao gồm cực âm nóng bằng dây tóc vonfram, lưới và cực âm. Nó có thể phát ra và tạo thành chùm tia điện tử với tốc độ đồng đều, do đó độ ổn định của điện áp gia tốc được yêu cầu không nhỏ hơn một phần mười.
