Giới thiệu Ưu điểm và Nhược điểm của Kính hiển vi Điện tử
1. Độ phân giải cao, độ phân giải của kính hiển vi quang học là 0,2 μm và độ phân giải của kính hiển vi điện tử truyền qua là 0,2nm, nghĩa là kính hiển vi điện tử truyền qua phóng đại 1000 lần trên cơ sở kính hiển vi quang học.
2. Kính hiển vi điện tử truyền qua được sử dụng phổ biến để quan sát các cấu trúc vật chất mịn mà kính hiển vi thông thường không thể phân biệt được; Kính hiển vi điện tử quét chủ yếu được sử dụng để quan sát hình thái của bề mặt rắn và cũng có thể được kết hợp với nhiễu xạ tia X- hoặc quang phổ điện tử để tạo thành các đầu dò vi điện tử để phân tích thành phần vật liệu; Kính hiển vi điện tử phát xạ được sử dụng để nghiên cứu bề mặt điện tử tự phát xạ.
Nhược điểm:
1. Trong kính hiển vi điện tử, các mẫu phải được quan sát trong chân không nên không thể quan sát được các mẫu sống. Với sự tiến bộ của công nghệ, kính hiển vi điện tử quét môi trường sẽ dần dần đạt được khả năng quan sát trực tiếp các mẫu sống;
2. Khi xử lý mẫu, các cấu trúc không có trong mẫu ban đầu có thể được tạo ra, điều này làm tăng khó khăn cho việc phân tích hình ảnh trong tương lai;
3. Do khả năng tán xạ electron mạnh nên dễ bị nhiễu xạ thứ cấp và các hiện tượng khác;
4. Do đó là hình ảnh chiếu hai chiều của một vật thể ba- chiều nên đôi khi hình ảnh không phải là duy nhất;
5. Do kính hiển vi điện tử truyền qua chỉ quan sát được các mẫu rất mỏng nên có thể cấu trúc của bề mặt vật liệu khác với cấu trúc bên trong vật liệu;
6. Mẫu siêu mỏng (dưới 100 nanomet), quá trình chuẩn bị mẫu phức tạp và khó khăn, và có hư hỏng trong quá trình chuẩn bị mẫu;
7. Chùm tia điện tử có thể làm hỏng mẫu do va chạm và đốt nóng;
8. Ngoài ra, giá mua và bảo trì kính hiển vi điện tử tương đối cao.
