Giới thiệu tính năng kính hiển vi điện tử quét
Kính hiển vi điện tử quét (SEM) là một thiết bị có độ chính xác lớn được sử dụng để phân tích hình thái vi mô có độ phân giải cao. Nó có các đặc điểm về độ sâu trường ảnh lớn, độ phân giải cao, hình ảnh trực quan, cảm giác ba chiều mạnh mẽ, phạm vi phóng đại rộng và khả năng xoay và nghiêng mẫu thử trong không gian ba chiều. Ngoài ra, nó còn có ưu điểm là có nhiều loại mẫu có thể đo được, hầu như không làm hỏng hoặc nhiễm bẩn mẫu ban đầu và khả năng thu được đồng thời hình thái, cấu trúc, thành phần và thông tin tinh thể. Hiện nay, kính hiển vi điện tử quét đã được sử dụng rộng rãi trong nghiên cứu kính hiển vi trong các lĩnh vực như khoa học đời sống, vật lý, hóa học, công lý, khoa học trái đất, khoa học vật liệu và sản xuất công nghiệp. Chỉ riêng trong lĩnh vực khoa học trái đất, nó bao gồm tinh thể học, khoáng vật học, trữ lượng khoáng sản, trầm tích, địa hóa học, đá quý, vi hóa thạch, địa chất thiên văn, địa chất dầu khí, địa chất kỹ thuật và địa chất cấu trúc.
Mặc dù kính hiển vi điện tử quét là một sản phẩm mới trong họ kính hiển vi nhưng tốc độ phát triển của nó rất nhanh do có nhiều ưu điểm.
Máy có độ phân giải cao và có thể quan sát chi tiết khoảng 6nm trên bề mặt mẫu thông qua hình ảnh điện tử thứ cấp. Bằng cách sử dụng súng điện tử LaB6, nó có thể được cải tiến hơn nữa lên 3nm.
Thiết bị có phạm vi thay đổi độ phóng đại rộng và có thể được điều chỉnh liên tục. Do đó, có thể chọn các kích thước trường nhìn khác nhau để quan sát khi cần và cũng có thể thu được hình ảnh rõ nét với độ sáng cao mà kính hiển vi điện tử truyền qua thông thường khó đạt được ở độ phóng đại cao.
Độ sâu trường ảnh và trường nhìn của mẫu lớn và hình ảnh có cảm giác ba chiều phong phú. Nó có thể quan sát trực tiếp các bề mặt gồ ghề với những gợn sóng lớn và hình ảnh vết nứt kim loại không đồng đều của mẫu, mang lại cho con người cảm giác như đang hiện diện trong thế giới vi mô.
Việc chuẩn bị 4 mẫu rất đơn giản. Chỉ cần các mẫu khối hoặc bột được xử lý nhẹ hoặc không được xử lý, chúng có thể được quan sát trực tiếp dưới kính hiển vi điện tử quét, gần với trạng thái tự nhiên của chất hơn.
5. Chất lượng hình ảnh có thể được kiểm soát và cải thiện một cách hiệu quả thông qua các phương pháp điện tử, chẳng hạn như tự động duy trì độ sáng và độ tương phản, hiệu chỉnh góc nghiêng mẫu, xoay hình ảnh hoặc cải thiện khả năng chịu độ tương phản của hình ảnh thông qua điều chế Y, cũng như độ sáng và độ tối vừa phải trong các phần khác nhau của hình ảnh. Bằng cách sử dụng thiết bị phóng đại kép hoặc bộ chọn hình ảnh, các hình ảnh có độ phóng đại khác nhau có thể được quan sát đồng thời trên màn hình huỳnh quang.
6 có thể được phân tích toàn diện. Lắp đặt máy quang phổ tia X phân tán bước sóng (WDX) hoặc máy quang phổ tia X tán sắc năng lượng (EDX) để có thể hoạt động như một đầu dò điện tử và phát hiện các electron phản xạ, tia X, phát quang âm, electron truyền qua, electron Auger, v.v. được phát ra theo mẫu. Việc mở rộng ứng dụng kính hiển vi điện tử quét sang các phương pháp phân tích vi mô và vi mô khác nhau đã chứng minh tính đa chức năng của kính hiển vi điện tử quét. Ngoài ra, còn có thể phân tích các vùng vi mô đã chọn của mẫu đồng thời quan sát hình ảnh hình thái; Bằng cách lắp đặt phụ kiện giá đỡ mẫu bán dẫn, các mối nối PN và các khuyết tật vi mô trong bóng bán dẫn hoặc mạch tích hợp có thể được quan sát trực tiếp thông qua bộ khuếch đại hình ảnh lực điện động. Do việc triển khai điều khiển tự động và bán tự động bằng máy tính điện tử cho nhiều đầu dò điện tử của kính hiển vi điện tử quét nên tốc độ phân tích định lượng đã được cải thiện rất nhiều.
