Kính hiển vi đồng tiêu có thể nhìn thấy bao nhiêu nanomet?
Mục tiêu của khoa học vật liệu là nghiên cứu ảnh hưởng của cấu trúc bề mặt của vật liệu đến tính chất bề mặt của nó. Do đó, việc phân tích địa hình bề mặt ở độ phân giải cao rất quan trọng để xác định các thông số liên quan đến độ nhám bề mặt, tính chất phản xạ, tính chất ma sát và chất lượng bề mặt. Kỹ thuật tiêu điểm có khả năng đo các vật liệu có nhiều đặc tính phản chiếu bề mặt và thu được dữ liệu đo hiệu quả.
Kính hiển vi đồng tiêu laser, dựa trên nguyên lý công nghệ đồng tiêu, là một công cụ kiểm tra các phép đo ở quy mô vi mô và nano trên bề mặt của các thiết bị và vật liệu chính xác khác nhau. Độ phân giải đo cao đạt tới 0.5nm.
Các ứng dụng
1. MEMS
Đo kích thước của các thành phần micron và sub-micron, quan sát hình thái bề mặt sau các quá trình khác nhau (phát triển, ăn mòn, kim loại hóa, CVD, PVD, CMP, v.v.), phân tích khuyết tật.
2. Linh kiện cơ khí chính xác, thiết bị điện tử
Đo kích thước của các thành phần micron và sub-micron, quan sát hình thái bề mặt sau các quá trình xử lý bề mặt khác nhau, quá trình hàn, phân tích khuyết tật, phân tích hạt.
3. Chất bán dẫn/LCD
Quan sát địa hình bề mặt sau các quá trình khác nhau (phát triển, khắc, kim loại hóa, CVD, PVD, CMP, v.v.), phân tích khuyết tật Đo chiều rộng đường không tiếp xúc, độ sâu bước, v.v.
4. Ma sát, ăn mòn và kỹ thuật bề mặt khác
Đo khối lượng các vết mài mòn, đo độ nhám, địa hình bề mặt, ăn mòn và địa hình bề mặt sau kỹ thuật bề mặt subicron.
Thông số kỹ thuật
Mô hình: VT6100
Phạm vi hành trình: 100*100*100mm
Phạm vi trường nhìn: 120×120 μm~1,2×1,2 mm
Độ lặp lại đo chiều cao (1σ): 12nm
Độ chính xác đo chiều cao: ± (0.2+L/100) μm
Độ phân giải đo chiều cao: 0.5 nm
Độ lặp lại đo chiều rộng (1σ): 40nm
Độ chính xác đo chiều rộng: ± 2%
Độ phân giải đo chiều rộng: 1nm
