Năm phương pháp quan sát phổ biến của kính hiển vi
1. Phương pháp trường sáng
Một phương pháp quan sát ánh sáng phản xạ trực tiếp từ một mẫu vật. Ánh sáng từ đèn chiếu sáng chiếu tới mẫu qua vật kính được căn chỉnh theo chiều dọc và ánh sáng phản xạ trực tiếp từ mẫu được quan sát qua vật kính.
2. Phương pháp trường tối
Quan sát các phương pháp làm khô mẫu liên quan đến ánh sáng nhiễu xạ. Ánh sáng chiếu xiên tới mẫu qua ngoại vi của vật kính, và ánh sáng khô từ mẫu được quan sát thấy trong khi ánh sáng nhiễu xạ được quan sát.
Lý tưởng để phát hiện các vết trầy xước hoặc vết nứt nhỏ trên mẫu và kiểm tra các bề mặt giống như gương của mẫu chẳng hạn như tấm mỏng.
3. Phương pháp ánh sáng phân cực
Đây là một kỹ thuật quan sát bằng kính hiển vi sử dụng ánh sáng phân cực được hình thành bởi hai bộ lọc màu (bộ phân cực phát hiện và bộ phân cực). Các trục phân cực này luôn vuông góc với nhau. Một số mẫu cho thấy sự tương phản rõ nét giữa hai bộ lọc. Hoặc thể hiện màu sắc dựa trên tính chất lưỡng chiết quang và định hướng (tức là các mẫu cấu trúc kẽm được đánh bóng). Khi máy phân tích được lắp vào đường ánh sáng quan sát phía trước thị kính, bản phân cực nằm trong đường ánh sáng phía trước đèn chiếu sáng thẳng đứng.
Nó phù hợp để quan sát cấu trúc kim loại (tức là chế độ tăng trưởng than chì của gang dẻo), khoáng chất và tinh thể lỏng (LCD) và vật liệu bán dẫn.
4. Phương pháp tương phản nhiễu vi sai
Đây là một kỹ thuật quan sát bằng kính hiển vi giúp thay đổi độ cao tương phản thành hình ảnh lập thể hoặc ba chiều bằng cách sử dụng phương pháp trường sáng mà phương pháp trường sáng có thể không quan sát được. Ánh sáng chiếu rọi được thay đổi từ lăng kính tương phản giao thoa vi phân sang hai ánh sáng nhiễu xạ. Sự khác biệt về chiều cao mẫu gây ra bởi hai ánh sáng nhiễu xạ tạo ra sự khác biệt nhỏ trong đường đi của ánh sáng và sự khác biệt về đường đi của ánh sáng trở thành độ tương phản giữa lăng kính tương phản và máy phân tích sử dụng phép đo giao thoa vi sai.
Các mẫu nhạy cảm được tái sử dụng để tăng cường quang sai màu biến thiên cao.
Nó phù hợp để kiểm tra các mẫu có chênh lệch chiều cao với độ chính xác cực cao, bao gồm cấu trúc kim loại, khoáng chất, đầu từ, bề mặt đĩa cứng và bề mặt tinh chế wafer.
5. Phương pháp huỳnh quang
Kỹ thuật này được sử dụng cho các mẫu phát huỳnh quang.
Nó phù hợp để phát hiện ô nhiễm wafer, nhựa cảm quang còn sót lại và phát hiện vết nứt bằng phương pháp huỳnh quang.
