Các yếu tố ảnh hưởng đến độ phân giải của kính hiển vi điện tử truyền qua
Không thể nhìn thấy rõ các cấu trúc mịn nhỏ hơn 0.2µm dưới kính hiển vi quang học. Những cấu trúc này được gọi là cấu trúc dưới kính hiển vi hoặc cấu trúc siêu hiển vi.
cấu trúc; siêu cấu trúc). Để nhìn rõ các cấu trúc này, phải chọn nguồn sáng có bước sóng ngắn hơn để tăng độ phân giải của kính hiển vi. Năm 1932, Ruska phát minh ra kính hiển vi điện tử truyền qua (TEM) với chùm tia điện tử làm nguồn sáng. Bước sóng của chùm tia điện tử ngắn hơn nhiều so với ánh sáng khả kiến và tia cực tím, đồng thời bước sóng của chùm tia điện tử tỷ lệ nghịch với căn bậc hai của điện áp của chùm tia điện tử phát ra. , nghĩa là, điện áp càng cao thì bước sóng càng ngắn. Độ phân giải hiện tại của TEM có thể đạt tới 0.2nm.
Nguyên lý tạo ảnh của kính hiển vi điện tử và kính hiển vi quang học về cơ bản là giống nhau. Sự khác biệt là cái trước sử dụng chùm tia điện tử làm nguồn sáng và trường điện từ làm thấu kính. Ngoài ra, do khả năng xuyên thấu của chùm tia điện tử rất yếu nên mẫu vật dùng cho kính hiển vi điện tử phải được chế tạo thành những phần siêu mỏng có độ dày khoảng 50 nm. Loại lát cắt này cần được thực hiện bằng máy siêu vi phẫu. Độ phóng đại của kính hiển vi điện tử có thể lên tới gần một triệu lần. Nó bao gồm năm phần: hệ thống chiếu sáng điện tử, hệ thống chụp ảnh ống kính điện từ, hệ thống chân không, hệ thống ghi âm và hệ thống cung cấp điện. Nếu chia nhỏ ra: bộ phận chính là thấu kính điện tử và ghi ảnh. Hệ thống gồm có súng điện tử, bình ngưng, buồng chứa mẫu,
Vật kính, thấu kính khúc xạ, thấu kính trung gian,
Gương chiếu, màn huỳnh quang và camera.
Kính hiển vi điện tử là kính hiển vi sử dụng các điện tử để quan sát bên trong hoặc bề mặt của vật thể.
Bước sóng của các electron tốc độ cao ngắn hơn bước sóng của ánh sáng khả kiến (lưỡng tính sóng-hạt) và độ phân giải của kính hiển vi bị giới hạn bởi bước sóng mà nó sử dụng, do đó độ phân giải của kính hiển vi điện tử (khoảng 0. 1 nanomet) cao hơn nhiều so với kính hiển vi quang học (khoảng 200 nm).
