Các vấn đề về lỗi của máy đo độ dày lớp phủ
(1) Sự can thiệp từ từ trường mạnh. Chúng tôi đã từng tiến hành một thí nghiệm đơn giản trong đó các phép đo bị xáo trộn nghiêm trọng khi thiết bị hoạt động gần trường điện từ khoảng 10000 V. Nếu thiết bị ở rất gần trường điện từ thì vẫn có khả năng xảy ra sự cố.
(2) Yếu tố con người. Tình trạng này thường xảy ra với người dùng mới. Lý do tại sao máy đo độ dày lớp phủ có thể đo được micromet là vì nó có thể thực hiện những thay đổi nhỏ trong từ thông và chuyển đổi chúng thành tín hiệu số. Nếu người dùng không quen với thiết bị trong quá trình đo, đầu dò có thể bị lệch khỏi vật thể đo, gây ra sự thay đổi từ thông và dẫn đến kết quả đo sai. Vì vậy, người dùng nên nắm vững phương pháp đo trước khi sử dụng thiết bị này lần đầu tiên. Vị trí của đầu dò có tác động đáng kể đến phép đo và đầu dò phải được giữ vuông góc với bề mặt mẫu trong quá trình đo. Và thời gian đặt đầu dò không được quá dài để tránh nhiễu với từ trường của chính chất nền.
(3) Không có chất nền phù hợp nào được chọn trong quá trình hiệu chuẩn hệ thống. Mặt phẳng nhỏ của đế là 7mm và độ dày nhỏ là 0,2mm. Các phép đo dưới điều kiện quan trọng này là không đáng tin cậy.
(4) Tác động của các chất kèm theo. Dụng cụ này nhạy cảm với các chất kèm theo cản trở đầu dò tiếp xúc gần với bề mặt của lớp phủ. Vì vậy cần gắn các chất đảm bảo tiếp xúc trực tiếp giữa đầu dò và bề mặt lớp phủ. Khi thực hiện hiệu chuẩn hệ thống, bề mặt của chất nền được chọn cũng phải lộ ra và nhẵn.
(5) Thiết bị bị trục trặc. Lúc này, bạn có thể liên hệ với nhân viên kỹ thuật hoặc quay lại nhà máy để sửa chữa.
