Kính hiển vi điện tử có mấy bộ phận

Kính hiển vi điện tử có mấy bộ phận

Kính hiển vi điện tử bao gồm ba phần: thùng thấu kính, thiết bị hút chân không và tủ cung cấp điện.

1. Nòng kính chủ yếu bao gồm các nguồn điện tử, thấu kính điện tử, giá đỡ mẫu, màn hình huỳnh quang và máy dò. Các thành phần này thường được lắp ráp thành một hình trụ từ trên xuống dưới.

Thấu kính điện tử được sử dụng để tập trung các điện tử và là thành phần quan trọng nhất trong thùng kính hiển vi điện tử. Nói chung, thấu kính từ tính được sử dụng và đôi khi thấu kính tĩnh điện cũng được sử dụng.

2. Thiết bị chân không dùng để đảm bảo trạng thái chân không trong kính hiển vi, không cho các electron bị hấp thụ hoặc lệch hướng trên đường đi của nó. Nó bao gồm một máy bơm chân không cơ học, một máy bơm khuếch tán và một van chân không, đồng thời được nối với vành thấu kính thông qua một ống xả.

3. Tủ nguồn bao gồm một máy phát điện áp cao, một bộ ổn định dòng điện kích thích và các bộ điều khiển điều chỉnh khác nhau.