So với kính hiển vi quang học truyền thống và kính hiển vi điện tử, yếu tố nào hạn chế khả năng phân giải của kính hiển vi lực nguyên tử?
Khả năng phân giải của kính hiển vi quang học truyền thống bị giới hạn bởi giới hạn nhiễu xạ của ánh sáng và khoảng cách phân giải tối thiểu của nó bằng một nửa bước sóng ánh sáng. Khả năng phân giải của kính hiển vi điện tử cũng bị giới hạn bởi giới hạn nhiễu xạ và khả năng phân giải tối thiểu của nó bằng một nửa bước sóng electron de Broglie, do đó kính hiển vi điện tử có thể đạt được khả năng phân giải cao hơn kính hiển vi quang học truyền thống.
Khả năng phân giải của kính hiển vi lực nguyên tử chủ yếu phụ thuộc vào: kích thước của đầu dò; hệ số đàn hồi của vi công xôn, hệ số đàn hồi càng thấp thì kính hiển vi lực nguyên tử càng nhạy; tỷ lệ chiều dài của công xôn với chiều dài của đèn laze; độ nhạy của máy dò PSD với vị trí điểm. Đối với hình ảnh có độ phân giải nhất định, phạm vi quét càng nhỏ thì địa hình bề mặt thu được càng mịn.
