Các phương pháp đo phổ biến cho kính hiển vi dụng cụ đa năng
1. Phương pháp cắt cạnh dao và phương pháp cắt trục:
Phương pháp cạnh dao và phương pháp cắt dọc trục là một phương pháp cơ học và quang học toàn diện, chủ yếu đo bề mặt cắt dọc trục của ren. Phương pháp này cũng có thể được sử dụng để đo mẫu hình trụ, hình nón và mẫu phẳng vì sai số điều chỉnh cực kỳ nhỏ và không bị ảnh hưởng bởi các tác động bên ngoài. Ví dụ: các cạnh không nhẵn, các cạnh vát che đi, v.v. Điều kiện để sử dụng phương pháp đo này là mẫu thử phải có bề mặt đo nhẵn và thẳng, dao đo được giữ bằng tay trên mẫu thử, và nó tiếp xúc với mẫu thử trên mặt phẳng đo. Đối với các bộ phận hình tròn, mặt phẳng đo này tiếp xúc với trục quay và đường mỏng song song với cạnh của lưỡi dao biểu thị phần trục của mẫu thử. Căn chỉnh đường thẳng với thước kẻ tham chiếu của thị kính đo góc. Cạnh của lưỡi dao chưa mài tiếp xúc với trục căn chỉnh đi qua chữ thập trong trường nhìn. Khoảng cách từ đường mảnh đến mép lưỡi dao không cần xét đến khi đo. Chỉ khi đo bằng lưỡi dao bị mòn mới phải trừ giá trị. Lỗi tháo lưỡi dao. Điều cần lưu ý ở đây là bụi và chất lỏng cặn bám trên bề mặt kiểm tra sẽ gây ra sai số khi kiểm tra vị trí lưỡi dao dựa vào khe hở ánh sáng. Chiều cao tối đa của tấm nền và thiết bị được đặt và không thể điều chỉnh sai. Nó phải được làm sạch trước khi sử dụng.
2. Phương pháp tạo bóng:
Phương pháp bóng là một phương pháp quang học thuần túy có thể nhanh chóng điều chỉnh thiết bị để căn chỉnh mặt cắt mẫu và so sánh hình dạng. Phương pháp đo này yêu cầu mẫu thử phải được đặt trong đường ánh sáng từ dưới lên và trong phạm vi rõ ràng của kính hiển vi căn chỉnh để thu được hình ảnh bóng của mẫu thử. Ảnh của phôi tròn là bóng dọc theo mặt phẳng trục, trong khi ảnh bóng của mẫu phẳng được xác định bởi các cạnh của nó. Trắc vi trên thị kính quay và thị kính đo góc được sử dụng để đo tiếp tuyến với bóng. Khi so sánh hình dạng của mẫu thử với hình tự vẽ, có thể sử dụng thiết bị chiếu và quan sát bằng hai mắt.
3. Phương pháp phản ánh:
Phương pháp phản xạ cũng là một phương pháp tiếp xúc quang học. Đặc điểm của phương pháp phản xạ là có thể đo các cạnh và dấu, chẳng hạn như viết nguệch ngoạc, đục lỗ, v.v. Phương pháp này cũng có thể sử dụng mẫu khắc của thị kính quay để so sánh các hình dạng. Xác định mặt phẳng đo theo mặt phẳng rõ ràng của kính hiển vi. Phương pháp đo này chủ yếu được sử dụng cho các mẫu phẳng. Sử dụng thị kính đo góc khi đo đường nét và lỗ đục lỗ, sử dụng thị kính hình ảnh kép khi đo cạnh lỗ và sử dụng thị kính xoay khi so sánh các hình dạng.
4. Phương pháp đòn bẩy vi mô
Phương pháp đòn bẩy vi mô được sử dụng để đo các bề mặt không thể căn chỉnh bằng các phương pháp đo quang học, chẳng hạn như lỗ, các bề mặt cong khác nhau và bề mặt xoắn ốc. Ở đây cần đặc biệt chú ý là đường kính của đầu đo khi chạm hoặc chạm vào bề mặt cong theo hướng ngược lại cũng phải được đưa vào phép đo. trong kết quả. Đối với các phép đo đặc biệt, bạn nên tự mình làm các thanh tiếp xúc phù hợp. Đầu đo hình cầu có đường kính nhất định có thể được sử dụng để kiểm tra đường cong lăn và đầu đo nhọn có thể được sử dụng để kiểm tra bề mặt xoắn ốc trong một mặt phẳng đo nhất định. Đầu đo cạnh dao dùng để đo hình chiếu của mặt phẳng cắt và đường cong không gian chỉ với hai trục tọa độ.
