Yêu cầu hiệu chuẩn và phương pháp hiệu chuẩn máy đo độ dày lớp phủ
Bảng độ dày tiêu chuẩn là một tiêu chuẩn độ dày được sử dụng để xác minh lỗi chỉ thị và độ biến thiên của máy đo độ dày lớp phủ hoặc để hiệu chỉnh máy đo độ dày lớp phủ. Điều kiện hiệu chuẩn của máy đo độ dày lớp phủ, nhiệt độ trong phòng thử nghiệm: 20 độ ± 2 độ, thời gian cân bằng nhiệt độ giữa tấm độ dày và khối đo: 2h; độ ẩm trong phòng thử nghiệm: Nhỏ hơn hoặc bằng 65 phần trăm và thời gian khởi động cho máy đo quang học thẳng đứng: không ít hơn 15 phút. Nguồn điện: 220 (1±10 phần trăm ) V, 50Hz.
1 ngoại hình
Yêu cầu: Không được có vết trầy xước, va đập và các khuyết tật khác trên cả hai bề mặt của tấm độ dày. Phương pháp hiệu chuẩn: Quan sát trực quan.
2 Khu vực hiệu quả
Yêu cầu: Diện tích của hình tròn có bán kính lớn hơn 5 mm phải được đánh dấu trên bề mặt không bằng phẳng và diện tích có độ dày bề mặt đồng nhất không được nhỏ hơn 20 mm × 20 mm. Phương pháp hiệu chuẩn: đo thước thép.
Trung bình cộng của 3 số.
Phương pháp hiệu chuẩn: đo độ dày của tấm độ dày tiêu chuẩn bằng ba khối đo bằng nhau và máy đo quang thẳng đứng bằng phương pháp trực tiếp hoặc phương pháp so sánh, làm sạch khối đo, tấm độ dày, đe đo quang và đầu dò bằng xăng hàng không trước khi đo, và sử dụng nó để hiệu chuẩn Bán kính cong của đầu đo không nhỏ hơn 20 mm. Khi thanh đo được hạ xuống, nắp đo phải được tiếp xúc nhẹ với tấm độ dày tiêu chuẩn bằng cách xoay nhánh để tránh tác động lên tấm độ dày tiêu chuẩn. Điểm hiệu chuẩn là 5 điểm phân bố đều trong vùng hiệu dụng (bao gồm cả điểm Tâm), đối với tấm có độ dày tiêu chuẩn không có vạch hiệu vùng thì vùng hiệu dụng nằm trong hình tròn có tâm là tâm và bán kính không nhỏ hơn 10mm.
4 Lỗi đồng nhất
Yêu cầu: sai số độ đồng đều của tấm có độ dày tiêu chuẩn. Phương pháp hiệu chuẩn, lấy chênh lệch tối đa giữa số đọc độ dày của từng điểm và giá trị độ dày trung bình làm sai số đồng nhất của tấm độ dày tiêu chuẩn và giá trị này không được vượt quá yêu cầu trong Bảng 2.
