Ưu điểm của kính hiển vi điện tử quét
1. Độ phóng đại
Do kích thước của màn huỳnh quang của kính hiển vi điện tử quét là cố định nên sự thay đổi độ phóng đại được thực hiện bằng cách thay đổi biên độ quét của chùm tia điện tử trên bề mặt mẫu.
Nếu giảm dòng điện của cuộn quét thì phạm vi quét của chùm tia điện tử trên mẫu sẽ giảm và độ phóng đại sẽ tăng lên. Việc điều chỉnh rất thuận tiện và có thể điều chỉnh liên tục từ 20 lần đến khoảng 200,000 lần.
2. Nghị quyết
Độ phân giải là chỉ số hiệu suất chính của SEM.
Độ phân giải được xác định bởi đường kính của chùm tia điện tử tới và loại tín hiệu điều chế:
Đường kính chùm tia điện tử càng nhỏ thì độ phân giải càng cao.
Các tín hiệu vật lý khác nhau được sử dụng để chụp ảnh có độ phân giải khác nhau.
Ví dụ, các electron SE và BE có phạm vi phát xạ khác nhau trên bề mặt mẫu và độ phân giải của chúng cũng khác nhau. Nói chung, độ phân giải của SE là khoảng 5-10 nm và của BE là khoảng 50-200 nm.
3. Độ sâu trường ảnh
Nó đề cập đến một loạt các khả năng mà một ống kính có thể đồng thời lấy nét và chụp ảnh trên các phần khác nhau của mẫu với độ không đồng đều.
Thấu kính cuối cùng của kính hiển vi điện tử quét sử dụng góc khẩu độ nhỏ và tiêu cự dài, do đó có thể thu được độ sâu trường ảnh lớn, lớn hơn 100-500 lần so với kính hiển vi quang học thông thường và lớn hơn 10 lần so với của kính hiển vi điện tử truyền qua.
Độ sâu trường ảnh lớn, cảm giác ba chiều mạnh mẽ và hình dạng chân thực là những đặc điểm nổi bật của SEM.
Mẫu cho SEM được chia thành hai loại:
1 là mẫu có độ dẫn điện tốt, nhìn chung có thể duy trì hình dạng ban đầu và có thể quan sát được dưới kính hiển vi điện tử mà không cần hoặc chỉ cần làm sạch một chút;
2. Các mẫu không dẫn điện hoặc mẫu bị mất nước, thoát khí, co ngót biến dạng trong chân không cần phải được xử lý thích hợp mới có thể quan sát được.
