Ưu điểm của kính hiển vi điện tử quét
1. Hệ số phóng đại
Do kích thước cố định của màn huỳnh quang của kính hiển vi điện tử quét nên sự thay đổi độ phóng đại đạt được bằng cách thay đổi biên độ quét của chùm tia điện tử trên bề mặt mẫu.
Nếu dòng điện của cuộn quét giảm thì biên độ quét của chùm electron trên mẫu sẽ giảm và hệ số khuếch đại sẽ tăng lên. Việc điều chỉnh rất thuận tiện và có thể điều chỉnh liên tục từ 20x đến khoảng 200000 lần.
2. Độ phân giải
Độ phân giải là chỉ số hiệu suất chính của kính hiển vi điện tử quét.
Độ phân giải được xác định bởi đường kính của chùm tia điện tử tới và loại tín hiệu điều chế.
Đường kính của chùm tia điện tử càng nhỏ thì độ phân giải càng cao.
Các tín hiệu vật lý được sử dụng để chụp ảnh có độ phân giải khác nhau.
Ví dụ, các electron SE và BE có phạm vi phát xạ và độ phân giải khác nhau trên bề mặt mẫu. Độ phân giải của SE thường vào khoảng 5-10nm, trong khi của BE là khoảng 50-200nm.
3. Độ sâu trường ảnh
Nó đề cập đến phạm vi khả năng của ống kính để lấy nét và chụp ảnh đồng thời các phần khác nhau của một mẫu không đồng đều.
Thấu kính cuối cùng của kính hiển vi điện tử quét sử dụng khẩu độ Góc nhỏ và tiêu cự dài nên có thể thu được độ sâu trường ảnh lớn. Nó lớn hơn 100-500 lần so với độ sâu trường ảnh của kính hiển vi quang học thông thường và lớn hơn 10 lần so với độ sâu trường ảnh của kính hiển vi điện tử truyền qua.
Các đặc điểm nổi bật của SEM là độ sâu trường ảnh lớn, cảm giác ba chiều mạnh mẽ và hình thái chân thực.
Các mẫu được sử dụng cho kính hiển vi điện tử quét được chia thành hai loại:
1 là mẫu có độ dẫn điện tốt, nhìn chung có thể duy trì hình dạng ban đầu và có thể quan sát được dưới kính hiển vi điện tử mà không cần hoặc chỉ cần làm sạch nhẹ;
2 là mẫu không dẫn điện hoặc mẫu bị mất nước, thoát khí hoặc biến dạng co ngót trong chân không, cần được xử lý đúng cách trước khi quan sát.
