1. Các nguồn chiếu sáng khác nhau
Nguồn chiếu sáng được sử dụng trong kính hiển vi là dòng điện tử phát ra từ súng điện tử và nguồn chiếu sáng của kính hiển vi quang học là ánh sáng nhìn thấy được (ánh sáng mặt trời hoặc ánh sáng). Do bước sóng của dòng phụ ngắn hơn nhiều so với bước sóng của sóng ánh sáng nên độ phóng đại và độ phân giải của kính hiển vi điện tử cao hơn đáng kể so với gương ánh sáng. .
2. Các ống kính khác nhau
Vật kính phóng đại trong kính hiển vi điện tử là thấu kính điện từ (cuộn dây điện từ hình vòng có thể tạo ra từ trường ở tâm) còn vật kính của kính hiển vi quang học là thấu kính quang học làm bằng thủy tinh. Có ba nhóm thấu kính điện từ trong kính hiển vi điện tử, tương đương với các chức năng của vật kính tụ điện và thị kính trong kính hiển vi quang học.
3. Các nguyên tắc tạo ảnh khác nhau
Trong kính hiển vi điện tử, chùm tia điện tử tác dụng lên mẫu cần kiểm tra được phóng đại bằng một thấu kính điện từ rồi đập vào màn huỳnh quang để chụp ảnh hoặc tác dụng lên màng cảm quang để chụp ảnh. Cơ chế của sự khác biệt về mật độ điện tử là khi chùm điện tử tác động lên mẫu cần kiểm tra, các điện tử tới va chạm với các nguyên tử của chất đó để tạo ra tán xạ và các phần khác nhau của mẫu có mức độ tán xạ khác nhau đối với các điện tử. vì vậy hình ảnh điện tử của mẫu được thể hiện dưới dạng sắc thái. Hình ảnh đối tượng của mẫu trong kính hiển vi quang học được hiển thị với sự khác biệt về độ sáng, điều này gây ra bởi sự khác biệt về lượng ánh sáng được hấp thụ bởi các cấu trúc khác nhau của mẫu.
4. Nghị quyết
Do hiện tượng giao thoa và nhiễu xạ ánh sáng, độ phân giải của kính hiển vi quang học chỉ có thể bị giới hạn ở 02-05um. Do kính hiển vi điện tử sử dụng chùm tia điện tử làm nguồn sáng nên tỷ lệ hỏng hóc có thể đạt từ 1 đến 3 nm. Do đó, việc quan sát mô của kính hiển vi quang học thuộc về phân tích cấp độ micron và việc quan sát mô của kính hiển vi điện tử thuộc về phân tích cấp độ nano.
5. Độ sâu trường ảnh
Nói chung, độ sâu trường ảnh của kính hiển vi quang học nằm trong khoảng 2-3um, do đó độ nhẵn bề mặt của mẫu cực kỳ khắt khe, vì vậy quy trình chuẩn bị mẫu tương đối phức tạp. Tinh thần của SEM có thể cao tới vài mét, do đó không yêu cầu độ mịn của hình dạng bề mặt mẫu, việc chuẩn bị mẫu tương đối đơn giản và một số dạng hình học mẫu không cần chuẩn bị mẫu. Kính hiển vi soi nổi có độ sâu trường ảnh tương đối lớn nhưng độ phân giải lại rất thấp.
6. Các phương pháp chuẩn bị mẫu khác nhau được sử dụng
Quy trình chuẩn bị mẫu mô và tế bào dùng để quan sát dưới kính hiển vi rất phức tạp, khó khăn về kỹ thuật và chi phí cao. Các thuốc thử và thao tác đặc biệt được yêu cầu trong các bước lấy mẫu, cố định, khử nước và nhúng. Cuối cùng, các khối mô nhúng cần được đưa vào máy cắt siêu vi để cắt thành các mẫu vật siêu mỏng có độ dày từ 50 ~ 100nm. Các mẫu vật được quan sát bằng kính hiển vi quang học thường được đặt trên các phiến kính, chẳng hạn như các mẫu mô lát thông thường, mẫu phết tế bào, mẫu ép mô và mẫu thả tế bào.
7. Độ phóng đại
Độ phóng đại hiệu quả của kính hiển vi quang học là 1000X. Độ phóng đại hiệu quả của kính hiển vi điện tử tốt có thể đạt tới 1000.000X.
